| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-22页 |
| ·论文的选题背景及意义 | 第9-18页 |
| ·本课题的研究目的及意义 | 第9-11页 |
| ·Al_2O_3陶瓷的微观结构、性质和制备 | 第11-16页 |
| ·Al_2O_3陶瓷的加工技术概述 | 第16-18页 |
| ·准分子激光微细加工Al_2O_3陶瓷的优势 | 第18页 |
| ·准分子激光微细加工的研究现状及发展趋势 | 第18-20页 |
| ·国外研究现状 | 第19页 |
| ·国内研究现状 | 第19-20页 |
| ·课题来源及本文主要研究内容 | 第20-22页 |
| ·课题来源 | 第20-21页 |
| ·主要研究内容 | 第21-22页 |
| 2 准分子激光和陶瓷材料的相互作用机理研究 | 第22-36页 |
| ·准分子激光与材料相互作用的物理过程 | 第22-26页 |
| ·准分子激光和材料相互作用现象分析 | 第22-23页 |
| ·准分子激光和材料相互作用时能量的吸收 | 第23-26页 |
| ·准分子激光微细加工的刻蚀机制 | 第26-29页 |
| ·准分子激光微细加工的特点 | 第26-27页 |
| ·光化学作用 | 第27-28页 |
| ·光热作用 | 第28页 |
| ·光化学-光热复合作用 | 第28-29页 |
| ·准分子激光和Al_2O_3陶瓷的光热作用 | 第29-32页 |
| ·准分子激光作用Al_2O_3陶瓷的温度场分析 | 第29-31页 |
| ·准分子激光引起的Al_2O_3陶瓷汽化去除 | 第31-32页 |
| ·准分子激光和Al_2O_3陶瓷的光化学作用 | 第32-33页 |
| ·等离子体羽辉对刻蚀过程的影响 | 第33-35页 |
| ·小结 | 第35-36页 |
| 3 准分子激光微细加工平台设计及搭建 | 第36-48页 |
| ·准分子激光微细加工平台设计要求 | 第36页 |
| ·准分子激光光束分析 | 第36-39页 |
| ·准分子激光光路设计及优化 | 第39-46页 |
| ·准分子微细加工平台总体设计方案 | 第39页 |
| ·光路设计方案优化 | 第39-46页 |
| ·准分子激光微细加工平台的搭建 | 第46-47页 |
| ·平台搭建的总体方案 | 第46页 |
| ·平台搭建及调试 | 第46-47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 4 准分子激光刻蚀Al_2O_3陶瓷工艺试验研究 | 第48-67页 |
| ·试验目的及方法 | 第48页 |
| ·准分子激光刻蚀加工Al_2O_3陶瓷试验设计方案 | 第48-56页 |
| ·准分子激光微细加工方法的选择 | 第49-50页 |
| ·准分子激光刻蚀加工试验材料及设备条件 | 第50-56页 |
| ·KrF准分子激光刻蚀Al_2O_3陶瓷的材料刻蚀量 | 第56-59页 |
| ·材料刻蚀量和准分子激光脉冲能量的关系 | 第56-57页 |
| ·材料刻蚀量和准分子激光脉冲数的关系 | 第57-59页 |
| ·材料刻蚀量和准分子激光脉冲频率的关系 | 第59页 |
| ·KrF准分子激光刻蚀Al_2O_3陶瓷的表面粗糙度 | 第59-66页 |
| ·材料表面粗糙度随准分子脉冲能量的变化 | 第59-61页 |
| ·材料表面粗糙度随准分子脉冲数的变化 | 第61-63页 |
| ·材料表面粗糙度随准分子激光脉冲频率的变化 | 第63-64页 |
| ·Al_2O_3陶瓷材料刻蚀孔形貌分析 | 第64-66页 |
| ·辅助气体对KrF准分子激光刻蚀Al_2O_3陶瓷表面形貌的影响 | 第66页 |
| ·小结 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
