| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 光纤传感器的定义及分类 | 第11-12页 |
| 1.2 光纤加速度传感器的分类 | 第12-14页 |
| 1.2.1 光强调制光纤加速度传感器 | 第12-13页 |
| 1.2.2 相位调制光纤加速度传感器 | 第13-14页 |
| 1.3 光纤加速度传感器研究状况 | 第14-16页 |
| 1.4 本文的研究意义和主要内容 | 第16-18页 |
| 第二章 光纤珐珀传感器的基本原理 | 第18-26页 |
| 2.1 光纤珐珀传感器的理论基础 | 第18-19页 |
| 2.2 光纤珐珀传感器的基本结构 | 第19-20页 |
| 2.2.1 本征型光纤珐珀传感器 | 第19页 |
| 2.2.2 非本征型光纤珐珀传感器 | 第19-20页 |
| 2.2.3 在线型复合腔光纤珐珀传感器 | 第20页 |
| 2.3 光纤珐珀传感器的解调原理 | 第20-25页 |
| 2.3.1 强度解调 | 第21-22页 |
| 2.3.2 相位解调 | 第22-25页 |
| 2.4 小结 | 第25-26页 |
| 第三章 光纤珐珀加速度传感器的设计研究 | 第26-45页 |
| 3.1 193nm激光微加工技术 | 第26-31页 |
| 3.1.1 193nm微加工平台 | 第27页 |
| 3.1.2 193nm激光加工的珐珀传感头的制作流程 | 第27-31页 |
| 3.2 微激光制作的珐珀传感头温度、应变实验 | 第31-38页 |
| 3.2.1 珐珀传感头的温度、应变传感原理 | 第31-33页 |
| 3.2.2 FP腔双面反射高温和应变实验 | 第33-35页 |
| 3.2.3 双FP腔三面反射低温实验 | 第35-38页 |
| 3.3 双端固支梁结构的理论分析和参数设计 | 第38-40页 |
| 3.3.1 弹性梁的动态响应特性 | 第38-39页 |
| 3.3.2 双端固支梁的力学模型和参数设计 | 第39-40页 |
| 3.4 光纤珐珀应变式加速度传感器的基本原理 | 第40-42页 |
| 3.4.1 光纤珐珀加速度传感器的工作原理 | 第40-41页 |
| 3.4.2 光纤珐珀加速度传感器灵敏度的标定 | 第41-42页 |
| 3.5 光纤珐珀加速度传感器的解调原理 | 第42-44页 |
| 3.6 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 双端固支梁结构的ANSYS性能仿真 | 第45-53页 |
| 4.1 ANSYS软件介绍 | 第45页 |
| 4.2 双端固支梁结构模态分析和谐响应分析 | 第45-49页 |
| 4.2.1 模态分析 | 第45-49页 |
| 4.2.2 谐响应分析 | 第49页 |
| 4.3 双端固支梁结构的静态分析 | 第49-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 光纤珐珀加速度传感器的实验结果与误差分析 | 第53-60页 |
| 5.1 实验系统设计 | 第53-54页 |
| 5.2 实验结果分析 | 第54-58页 |
| 5.3 理论结果和实验结果对比 | 第58页 |
| 5.4 误差分析 | 第58-59页 |
| 5.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第67-68页 |