五轴联动超精密磨床结构分析及驱动系统设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第11-20页 |
| 1.2.1 多轴联动超精密加工机床国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.2 超精密直线运动系统的国内外研究现状 | 第15-20页 |
| 1.3 本课题主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第2章 五轴联动超精密磨床结构设计研究 | 第21-42页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 机床功能规划与整体设计准则 | 第21-24页 |
| 2.2.1 五轴超精密磨床的结构设计准则 | 第21-22页 |
| 2.2.2 工件加工要求分析以及机床功能规划 | 第22-23页 |
| 2.2.3 机床整机构型及布局设计 | 第23-24页 |
| 2.3 机床关键运动部件结构设计 | 第24-35页 |
| 2.3.1 进给运动系统结构设计 | 第24-31页 |
| 2.3.2 垂直轴结构设计 | 第31-33页 |
| 2.3.3 五轴超精密机床整体结构设计 | 第33-35页 |
| 2.4 机床几何误差建模分析与精度设计 | 第35-40页 |
| 2.4.1 五轴超精密磨床几何误差分析 | 第35-36页 |
| 2.4.2 齐次坐标变换原理 | 第36-37页 |
| 2.4.3 五轴超精密磨床几何误差建模与精度设计 | 第37-40页 |
| 2.5 本章小结 | 第40-42页 |
| 第3章 五轴联动超精密磨床动态特性仿真分析 | 第42-58页 |
| 3.1 引言 | 第42页 |
| 3.2 机床动力学分析理论基础 | 第42-43页 |
| 3.3 液体静压导轨的动静态特性分析 | 第43-51页 |
| 3.3.1 液体静压导轨变形仿真分析 | 第43-45页 |
| 3.3.2 液体静压导轨的热变形分析 | 第45-50页 |
| 3.3.3 液体静压导轨的模态特性分析 | 第50-51页 |
| 3.4 垂直轴动态特性分析 | 第51-53页 |
| 3.5 五轴超精密磨床动态特性仿真分析 | 第53-56页 |
| 3.5.1 机床整体静力及模态特性仿真分析 | 第53-55页 |
| 3.5.2 机床整体谐响应特性仿真分析 | 第55-56页 |
| 3.6 本章小结 | 第56-58页 |
| 第4章 五轴超精密磨床驱动系统研究 | 第58-81页 |
| 4.1 引言 | 第58页 |
| 4.2 液体静压丝杠驱动的超精密直线运动系统设计 | 第58-67页 |
| 4.2.1 运动系统机械结构设计与装配 | 第58-59页 |
| 4.2.2 高性能液压站搭建与液压油粘度标定实验 | 第59-64页 |
| 4.2.3 控制系统设计 | 第64-67页 |
| 4.3 运动系统PID参数调节与控制系统特性分析 | 第67-71页 |
| 4.3.1 控制系统PID参数调试原理 | 第67-68页 |
| 4.3.2 电流环模式下运动系统性能测试 | 第68-71页 |
| 4.4 系统伺服特性测试 | 第71-79页 |
| 4.4.1 运动系统伺服特性测试与分析 | 第71-75页 |
| 4.4.2 系统运动分辨率测试 | 第75-79页 |
| 4.5 本章小结 | 第79-81页 |
| 结论 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第87-89页 |
| 致谢 | 第89页 |
