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五轴联动超精密磨床结构分析及驱动系统设计

摘要第4-5页
ABSTRACT第5-6页
第1章 绪论第9-21页
    1.1 课题研究的背景和意义第9-11页
    1.2 国内外研究现状及分析第11-20页
        1.2.1 多轴联动超精密加工机床国内外研究现状第11-15页
        1.2.2 超精密直线运动系统的国内外研究现状第15-20页
    1.3 本课题主要研究内容第20-21页
第2章 五轴联动超精密磨床结构设计研究第21-42页
    2.1 引言第21页
    2.2 机床功能规划与整体设计准则第21-24页
        2.2.1 五轴超精密磨床的结构设计准则第21-22页
        2.2.2 工件加工要求分析以及机床功能规划第22-23页
        2.2.3 机床整机构型及布局设计第23-24页
    2.3 机床关键运动部件结构设计第24-35页
        2.3.1 进给运动系统结构设计第24-31页
        2.3.2 垂直轴结构设计第31-33页
        2.3.3 五轴超精密机床整体结构设计第33-35页
    2.4 机床几何误差建模分析与精度设计第35-40页
        2.4.1 五轴超精密磨床几何误差分析第35-36页
        2.4.2 齐次坐标变换原理第36-37页
        2.4.3 五轴超精密磨床几何误差建模与精度设计第37-40页
    2.5 本章小结第40-42页
第3章 五轴联动超精密磨床动态特性仿真分析第42-58页
    3.1 引言第42页
    3.2 机床动力学分析理论基础第42-43页
    3.3 液体静压导轨的动静态特性分析第43-51页
        3.3.1 液体静压导轨变形仿真分析第43-45页
        3.3.2 液体静压导轨的热变形分析第45-50页
        3.3.3 液体静压导轨的模态特性分析第50-51页
    3.4 垂直轴动态特性分析第51-53页
    3.5 五轴超精密磨床动态特性仿真分析第53-56页
        3.5.1 机床整体静力及模态特性仿真分析第53-55页
        3.5.2 机床整体谐响应特性仿真分析第55-56页
    3.6 本章小结第56-58页
第4章 五轴超精密磨床驱动系统研究第58-81页
    4.1 引言第58页
    4.2 液体静压丝杠驱动的超精密直线运动系统设计第58-67页
        4.2.1 运动系统机械结构设计与装配第58-59页
        4.2.2 高性能液压站搭建与液压油粘度标定实验第59-64页
        4.2.3 控制系统设计第64-67页
    4.3 运动系统PID参数调节与控制系统特性分析第67-71页
        4.3.1 控制系统PID参数调试原理第67-68页
        4.3.2 电流环模式下运动系统性能测试第68-71页
    4.4 系统伺服特性测试第71-79页
        4.4.1 运动系统伺服特性测试与分析第71-75页
        4.4.2 系统运动分辨率测试第75-79页
    4.5 本章小结第79-81页
结论第81-83页
参考文献第83-87页
攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果第87-89页
致谢第89页

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