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微结构的铣削与电火花复合精密加工系统及工艺基础研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第10-24页
    1.1 课题研究背景与意义第10-12页
    1.2 微机械的发展现状第12-13页
    1.3 微细加工技术第13-17页
        1.3.1 微细铣削第13-14页
        1.3.2 微细车削第14-15页
        1.3.3 MEMS制造技术第15页
        1.3.4 微细激光加工第15-16页
        1.3.5 微细超声加工技术第16-17页
    1.4 微铣削加工技术发展第17-19页
        1.4.1 微细铣削力模型研究现状第17-18页
        1.4.2 微铣削刀具状态监控研究现状第18-19页
    1.5 微细电火花加工技术的发展第19-23页
        1.5.1 微细电火花加工机床研究现状第19-22页
        1.5.2 微细电火花放电状态检测技术的研究现状第22页
        1.5.3 微细电火花加工微小孔技术研究现状第22-23页
    1.6 课题研究内容第23-24页
第二章 微结构的铣削与电火花复合精密加工系统研究与设计第24-40页
    2.1 微细加工工艺的原理及特点分析第24-27页
        2.1.1 微细铣削加工技术第24-25页
        2.1.2 微细电火花加工技术第25-26页
        2.1.3 微型结构的铣削与电火花复合精密加工系统的总体方案设计第26-27页
    2.2 微结构的铣削与电火花复合精密加工系统的机械系统设计第27-32页
        2.2.1 三维工作台设计第28-29页
        2.2.2 旋转主轴系统第29-30页
        2.2.3 在线显微观察系统第30-31页
        2.2.4 工作液供给系统第31-32页
    2.3 微结构的铣削与电火花复合精密加工系统的数控系统设计第32-37页
        2.3.1 数控系统的硬件设计第32-33页
        2.3.2 数控系统的软件设计第33-34页
        2.3.3 基于PMAC的直线位移台的运动控制第34-36页
        2.3.4 直线位移台运动精度测试第36-37页
    2.4 微结构的铣削与电火花复合精密加工系统的实现第37页
    2.5 小结第37-40页
第三章 复合精密加工系统的相关技术研究第40-64页
    3.1 微铣刀磨损状态的检测第40-52页
        3.1.1 微铣刀磨损状态的确立第40-41页
        3.1.2 铣刀磨损实验方案第41-44页
        3.1.3 振动信号和铣削力信号采集第44-45页
        3.1.4 微铣刀磨损状态特征参数提取与诊断分析第45-50页
        3.1.5 基于BP网络的微铣刀磨损状态模式识别第50-52页
    3.2 间隙放电状态检测技术研究第52-63页
        3.2.1 微细电火花间隙放电蚀除过程分析第54-55页
        3.2.2 基于相关性分析的微细电火花放电状态检测方法第55-60页
        3.2.3 基于相关性分析的电火花加工控制方法第60-63页
    3.3 小结第63-64页
第四章 典型微结构的复合精密加工技术研究第64-86页
    4.1 引言第64页
    4.2 微细轴在线制作技术研究第64-67页
        4.2.1 微细轴电极的制作技术第64-65页
        4.2.2 微细轴的复合加工技术研究第65-67页
    4.3 矩形微孔加工技术研究第67-70页
        4.3.1 电极材料的选取及制备第68-69页
        4.3.2 矩形微孔加工第69-70页
    4.4 经皮给药用微针阵列的加工技术研究第70-72页
    4.5 微小深孔加工技术研究第72-84页
        4.5.1 微细削边电极加工微小深孔研究第73-75页
        4.5.2 微细双螺旋电极加工微小深孔研究第75-80页
        4.5.3 主轴转速对双螺旋电极加工微小孔效率的影响第80-84页
    4.6 小结第84-86页
第五章 复合精密加工系统基础工艺研究第86-96页
    5.1 微铣切削力的分析第86-90页
        5.1.1 微细铣削试验模型第86-87页
        5.1.2 微铣切削试验方法第87页
        5.1.3 微铣切削力正交试验分析第87-90页
    5.2 微细电火花加工基础工艺实验研究第90-94页
        5.2.1 电参数对微细电火花加工效率和电极损耗率的影响第90-92页
        5.2.2 电参数对工件表面粗糙度的影响第92-94页
    5.3 小结第94-96页
第六章 总结与展望第96-98页
    6.1 总结第96-97页
    6.2 展望第97-98页
参考文献第98-108页
发表论文和参加科研情况说明第108-110页
致谢第110-112页

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