| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 课题研究背景与意义 | 第10-12页 |
| 1.2 微机械的发展现状 | 第12-13页 |
| 1.3 微细加工技术 | 第13-17页 |
| 1.3.1 微细铣削 | 第13-14页 |
| 1.3.2 微细车削 | 第14-15页 |
| 1.3.3 MEMS制造技术 | 第15页 |
| 1.3.4 微细激光加工 | 第15-16页 |
| 1.3.5 微细超声加工技术 | 第16-17页 |
| 1.4 微铣削加工技术发展 | 第17-19页 |
| 1.4.1 微细铣削力模型研究现状 | 第17-18页 |
| 1.4.2 微铣削刀具状态监控研究现状 | 第18-19页 |
| 1.5 微细电火花加工技术的发展 | 第19-23页 |
| 1.5.1 微细电火花加工机床研究现状 | 第19-22页 |
| 1.5.2 微细电火花放电状态检测技术的研究现状 | 第22页 |
| 1.5.3 微细电火花加工微小孔技术研究现状 | 第22-23页 |
| 1.6 课题研究内容 | 第23-24页 |
| 第二章 微结构的铣削与电火花复合精密加工系统研究与设计 | 第24-40页 |
| 2.1 微细加工工艺的原理及特点分析 | 第24-27页 |
| 2.1.1 微细铣削加工技术 | 第24-25页 |
| 2.1.2 微细电火花加工技术 | 第25-26页 |
| 2.1.3 微型结构的铣削与电火花复合精密加工系统的总体方案设计 | 第26-27页 |
| 2.2 微结构的铣削与电火花复合精密加工系统的机械系统设计 | 第27-32页 |
| 2.2.1 三维工作台设计 | 第28-29页 |
| 2.2.2 旋转主轴系统 | 第29-30页 |
| 2.2.3 在线显微观察系统 | 第30-31页 |
| 2.2.4 工作液供给系统 | 第31-32页 |
| 2.3 微结构的铣削与电火花复合精密加工系统的数控系统设计 | 第32-37页 |
| 2.3.1 数控系统的硬件设计 | 第32-33页 |
| 2.3.2 数控系统的软件设计 | 第33-34页 |
| 2.3.3 基于PMAC的直线位移台的运动控制 | 第34-36页 |
| 2.3.4 直线位移台运动精度测试 | 第36-37页 |
| 2.4 微结构的铣削与电火花复合精密加工系统的实现 | 第37页 |
| 2.5 小结 | 第37-40页 |
| 第三章 复合精密加工系统的相关技术研究 | 第40-64页 |
| 3.1 微铣刀磨损状态的检测 | 第40-52页 |
| 3.1.1 微铣刀磨损状态的确立 | 第40-41页 |
| 3.1.2 铣刀磨损实验方案 | 第41-44页 |
| 3.1.3 振动信号和铣削力信号采集 | 第44-45页 |
| 3.1.4 微铣刀磨损状态特征参数提取与诊断分析 | 第45-50页 |
| 3.1.5 基于BP网络的微铣刀磨损状态模式识别 | 第50-52页 |
| 3.2 间隙放电状态检测技术研究 | 第52-63页 |
| 3.2.1 微细电火花间隙放电蚀除过程分析 | 第54-55页 |
| 3.2.2 基于相关性分析的微细电火花放电状态检测方法 | 第55-60页 |
| 3.2.3 基于相关性分析的电火花加工控制方法 | 第60-63页 |
| 3.3 小结 | 第63-64页 |
| 第四章 典型微结构的复合精密加工技术研究 | 第64-86页 |
| 4.1 引言 | 第64页 |
| 4.2 微细轴在线制作技术研究 | 第64-67页 |
| 4.2.1 微细轴电极的制作技术 | 第64-65页 |
| 4.2.2 微细轴的复合加工技术研究 | 第65-67页 |
| 4.3 矩形微孔加工技术研究 | 第67-70页 |
| 4.3.1 电极材料的选取及制备 | 第68-69页 |
| 4.3.2 矩形微孔加工 | 第69-70页 |
| 4.4 经皮给药用微针阵列的加工技术研究 | 第70-72页 |
| 4.5 微小深孔加工技术研究 | 第72-84页 |
| 4.5.1 微细削边电极加工微小深孔研究 | 第73-75页 |
| 4.5.2 微细双螺旋电极加工微小深孔研究 | 第75-80页 |
| 4.5.3 主轴转速对双螺旋电极加工微小孔效率的影响 | 第80-84页 |
| 4.6 小结 | 第84-86页 |
| 第五章 复合精密加工系统基础工艺研究 | 第86-96页 |
| 5.1 微铣切削力的分析 | 第86-90页 |
| 5.1.1 微细铣削试验模型 | 第86-87页 |
| 5.1.2 微铣切削试验方法 | 第87页 |
| 5.1.3 微铣切削力正交试验分析 | 第87-90页 |
| 5.2 微细电火花加工基础工艺实验研究 | 第90-94页 |
| 5.2.1 电参数对微细电火花加工效率和电极损耗率的影响 | 第90-92页 |
| 5.2.2 电参数对工件表面粗糙度的影响 | 第92-94页 |
| 5.3 小结 | 第94-96页 |
| 第六章 总结与展望 | 第96-98页 |
| 6.1 总结 | 第96-97页 |
| 6.2 展望 | 第97-98页 |
| 参考文献 | 第98-108页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第108-110页 |
| 致谢 | 第110-112页 |
