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硅衬底氮化镓基黄光LED外延生长与器件性能研究

摘要第3-5页
ABSTRACT第5-6页
第1章 绪论第10-27页
    1.1 引言第10-11页
    1.2 LED 照明技术与黄光第11-15页
        1.2.1 LED 照明的优点第11-12页
        1.2.2 LED 照明技术的现状与趋势第12-15页
    1.3 半导体发光材料与绿光鸿沟第15-17页
        1.3.1 半导体发光材料第15-16页
        1.3.2 绿光鸿沟第16-17页
    1.4 LED 的效率 droop第17-20页
    1.5 GaN 基黄光 LED 研究进展第20-24页
    1.6 Si 衬底 LED 技术第24-26页
    1.7 本论文的主要工作第26-27页
第2章 GaN 基黄光 LED 外延生长第27-60页
    2.1 Si 衬底上 GaN 生长第27-43页
        2.1.1 AlN 生长优化第27-31页
        2.1.2 Al_xGa_(1-x)N 渐变缓冲层生长第31-38页
        2.1.3 非故意掺杂控制第38-43页
    2.2 高 In 组分 InGaN 生长第43-52页
        2.2.1 InGaN 晶体质量控制第44-49页
        2.2.2 InGaN 量子阱应力控制第49-52页
    2.3 应力准备层与黄光量子阱生长第52-56页
    2.4 V 型坑技术第56-58页
    2.5 小结第58-60页
第3章 GaN 基黄光 LED 外延性质表征与分析第60-73页
    3.1 光致发光性质第60-63页
        3.1.1 激光激发(PL)性质第60-61页
        3.1.2 荧光(FL)性质第61-63页
    3.2 缺陷与界面表征第63-66页
        3.2.1 位错测量第63-64页
        3.2.2 透射电镜分析第64-66页
    3.3 应力与应变第66-70页
        3.3.1 晶格常数与 GaN 应变测量第66-68页
        3.3.2 量子阱应变测量第68-70页
    3.4 组分与厚度测量第70-72页
        3.4.1 In 组分测试第70页
        3.4.2 XRD 测量与拟合第70-72页
    3.5 小结第72-73页
第4章 黄光 LED 器件性能分析第73-92页
    4.1 Si 衬底上黄光 LED 的芯片结构第73-74页
    4.2 黄光 LED 性能测试第74-77页
    4.3 变温变电流电致发光第77-91页
        4.3.1 电压特性研究第77-79页
        4.3.2 波长飘移研究第79-85页
        4.3.3 光谱与发光位置分析第85-91页
    4.4 小结第91-92页
第5章 黄光 LED 效率 droop 研究第92-115页
    5.1 黄光 LED 的内量子效率第92-97页
    5.2 蓝光、绿光、黄光 LED 效率 droop 对比第97-108页
        5.2.1 电流 droop 对比第97-102页
        5.2.2 温度 droop 对比第102-104页
        5.2.3 波长 droop 研究第104-107页
        5.2.4 LED 的 droop 与电压第107-108页
    5.3 GaN 基与 AlGaInP 基黄光 LED 对比第108-113页
    5.4 小结第113-115页
第6章 结论第115-117页
参考文献第117-130页
致谢第130-131页
攻读学位期间的研究成果第131页

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