| 中文摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 亚波长金属光栅的研究进展 | 第10-15页 |
| 1.2.1 单层结构向多层结构的发展 | 第10-12页 |
| 1.2.2 一维结构向多维结构的发展 | 第12-14页 |
| 1.2.3 理论研究向实验制备的发展 | 第14-15页 |
| 1.2.4 适用波段的拓展 | 第15页 |
| 1.3 亚波长金属光栅的应用 | 第15-16页 |
| 1.4 本文的主要研究内容与结构安排 | 第16-17页 |
| 第二章 亚波长金属偏振光栅的理论分析方法与FDTD理论 | 第17-24页 |
| 2.1 亚波长金属偏振光栅的理论分析方法 | 第17-18页 |
| 2.2 时域有限差分法（FDTD） | 第18-23页 |
| 2.3 本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 亚波长金属偏振光栅的设计与仿真 | 第24-44页 |
| 3.1 仿真模型的建立 | 第24-28页 |
| 3.1.1 仿真软件介绍 | 第24-26页 |
| 3.1.2 仿真结构材料的选择 | 第26-28页 |
| 3.2 亚波长金属偏振光栅光谱特性的分析 | 第28-33页 |
| 3.2.1 入射光波长变化对光栅光谱特性的影响 | 第28-29页 |
| 3.2.2 周期变化对光栅光谱特性的影响 | 第29-31页 |
| 3.2.3 占空比变化对光栅光谱特性的影响 | 第31-32页 |
| 3.2.4 槽深变化对光栅光谱特性的影响 | 第32-33页 |
| 3.3 多台阶浮雕型亚波长金属偏振光栅的仿真分析 | 第33-37页 |
| 3.3.1 建立模型 | 第33-34页 |
| 3.3.2 模拟结果与分析 | 第34-37页 |
| 3.4 带有高折射率介质层的双层金属光栅偏振分束器的仿真分析 | 第37-42页 |
| 3.4.1 建立模型 | 第37-39页 |
| 3.4.2 模拟结果与分析 | 第39-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-44页 |
| 第四章 亚波长金属偏振光栅的全息方法实验制备 | 第44-52页 |
| 4.1 全息曝光方法制备工艺 | 第45-47页 |
| 4.1.1 基片的预处理 | 第45-47页 |
| 4.1.2 全息曝光过程 | 第47页 |
| 4.2 样品测试结果 | 第47-51页 |
| 4.2.1 原子力显微镜（AFM）测试 | 第47-49页 |
| 4.2.2 衍射效率测试 | 第49-51页 |
| 4.3 本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 总结与展望 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-60页 |
| 在读期间公开发表的论文和承担科研项目及取得成果 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |