| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 研究现状 | 第9-15页 |
| 1.2.1 纳米线制备的研究现状 | 第9-12页 |
| 1.2.2 纳米线应用的研究现状 | 第12-15页 |
| 1.3 本课题主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章AFM在聚合物薄膜表面的刻划工艺研究 | 第16-36页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 聚合物薄膜的制备工艺 | 第16-18页 |
| 2.3 AFM在聚合物表面刻划工艺分析 | 第18-35页 |
| 2.3.1 理论分析影响AFM在聚合物表面刻划沟槽宽度的因素 | 第18-20页 |
| 2.3.2 AFM在聚合物表面加工方向选择 | 第20-23页 |
| 2.3.3 实验分析影响AFM在聚合物表面刻划沟槽宽度的因素 | 第23-31页 |
| 2.3.4 实验结果与理论分析的对比 | 第31-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 基于AFM纳米刻划技术的金属纳米线制备 | 第36-49页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 制备金属纳米线 | 第36-43页 |
| 3.2.1 金属纳米线制备步骤 | 第36-37页 |
| 3.2.2 金属镀膜方式的选择 | 第37-38页 |
| 3.2.3 实验结果及分析 | 第38-43页 |
| 3.3 制备金属纳米线的外围电路 | 第43-48页 |
| 3.3.1 纳米线外围电路的制备步骤 | 第44-46页 |
| 3.3.2 实验结果及分析 | 第46-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 金属纳米线的电学性能分析 | 第49-62页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 实验方法及设备 | 第49-51页 |
| 4.2.1 测量金属纳米线电阻的方法 | 第49-51页 |
| 4.2.2 测量金属纳米线电阻的实验设备 | 第51页 |
| 4.3 实验结果及分析 | 第51-60页 |
| 4.3.1 金属铬纳米线的电学性能 | 第51-54页 |
| 4.3.2 金属铝纳米线的电学性能 | 第54-57页 |
| 4.3.3 金属钛纳米线的电学性能 | 第57-59页 |
| 4.3.4 金属纳米线的电学性能分析 | 第59-60页 |
| 4.4 叉指型电极的制备 | 第60-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 致谢 | 第68页 |