金属颗粒膜/多孔硅气体传感器的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-27页 |
| ·多孔硅制备工艺的研究情况 | 第9-11页 |
| ·火花放电腐蚀法 | 第9-10页 |
| ·激光辐射腐蚀法 | 第10页 |
| ·化学腐蚀法 | 第10页 |
| ·水热腐蚀法 | 第10页 |
| ·阳极氧化法 | 第10-11页 |
| ·PS的形成机理 | 第11-12页 |
| ·PS的光致发光 | 第12-13页 |
| ·多孔硅-黑硅 | 第13-14页 |
| ·多孔硅传感器 | 第14-20页 |
| ·利用光学性能改变 | 第16-17页 |
| ·利用电学性能的改变 | 第17-19页 |
| ·表面修饰的PS传感器 | 第19-20页 |
| ·甲醛气体传感器 | 第20-26页 |
| ·甲醛的危害 | 第20-22页 |
| ·室内甲醛浓度的限量标准 | 第22-23页 |
| ·甲醛测定方法的发展 | 第23-26页 |
| ·本论文研究的内容 | 第26-27页 |
| ·多孔硅作为气体传感器的优势 | 第26页 |
| ·研究内容 | 第26-27页 |
| 第二章 多孔硅的制备 | 第27-37页 |
| ·多孔硅的制备 | 第27-32页 |
| ·实验所需原材料以及仪器 | 第27-29页 |
| ·实验原理 | 第29-30页 |
| ·实验步骤 | 第30-32页 |
| ·PS表面形貌的分析 | 第32-33页 |
| ·电流密度对多孔硅层厚度的影响 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第三章 多孔硅气敏元件的制备及特性研究 | 第37-56页 |
| ·元件结构的设计 | 第37-38页 |
| ·设计的四点基本考虑 | 第37页 |
| ·元件结构 | 第37-38页 |
| ·元件的制作 | 第38-42页 |
| ·制作工艺流程 | 第38-39页 |
| ·表面制作多孔硅 | 第39页 |
| ·多孔硅表面沉积具有催化特性的纳米金属膜 | 第39-42页 |
| ·制备叉指电极 | 第42页 |
| ·安装Pt电极引线,焊接管芯 | 第42页 |
| ·元件性能的检测 | 第42-45页 |
| ·元件性能指标 | 第42-43页 |
| ·检测原理与装置 | 第43-45页 |
| ·检测气体 | 第45页 |
| ·金属/PS的性能测试 | 第45-46页 |
| ·测试结果分析 | 第46-55页 |
| ·Cu/PS元件的气敏性能 | 第46-50页 |
| ·Ag/PS的气敏性能测试 | 第50-53页 |
| ·Zn/PS的气敏性能测试 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 相关机理讨论 | 第56-62页 |
| ·多孔硅的形成机理 | 第56页 |
| ·无电湿法沉积金属纳米颗粒 | 第56-57页 |
| ·敏感机理 | 第57-61页 |
| ·反应过程及反应物 | 第57-59页 |
| ·纳米金属颗粒的催化特性 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 结论与展望 | 第62-64页 |
| ·全文总结 | 第62页 |
| ·不足之处 | 第62-63页 |
| ·展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 附录 攻读硕士期间的学术论文 | 第71页 |
