| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第15-33页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第15-16页 |
| 1.2 真空技术的研究现状 | 第16-18页 |
| 1.3 干式真空泵的研究现状 | 第18-21页 |
| 1.4 磁悬浮分子泵研究现状 | 第21-24页 |
| 1.5 磁轴承技术研究进展 | 第24-29页 |
| 1.5.1 磁轴承控制技术研究进展 | 第25-27页 |
| 1.5.2 磁轴承变增益控制器研究现状 | 第27页 |
| 1.5.3 磁轴承陀螺效应研究现状 | 第27-28页 |
| 1.5.4 磁轴承不平衡振动控制研究现状 | 第28-29页 |
| 1.6 分子泵流场数值模拟研究进展 | 第29-31页 |
| 1.7 磁悬浮复合分子泵研发存在的主要问题 | 第31页 |
| 1.8 本文的主要研究内容 | 第31-33页 |
| 第2章 磁悬浮复合分子泵结构设计及其叶片转子系统模态分析 | 第33-52页 |
| 2.1 磁悬浮复合分子泵总体设计 | 第33-38页 |
| 2.1.1 无油真空机组工作方案设计 | 第34-35页 |
| 2.1.2 磁悬浮复合分子泵性能指标和总体结构设计 | 第35-38页 |
| 2.2 涡轮叶片工作原理与结构参数设计 | 第38-45页 |
| 2.2.1 涡轮叶片的工作原理 | 第38-39页 |
| 2.2.2 单级叶片的抽气原理 | 第39-40页 |
| 2.2.3 多级叶片的抽气原理 | 第40-42页 |
| 2.2.4 涡轮叶片结构参数设计 | 第42-45页 |
| 2.3 磁轴承系统结构设计 | 第45-47页 |
| 2.3.1 磁轴承系统结构设计 | 第45-46页 |
| 2.3.2 径向磁轴承和轴向磁轴承结构设计 | 第46-47页 |
| 2.4 磁轴承支撑叶片转子系统模态分析 | 第47-51页 |
| 2.4.1 磁轴承支撑叶片转子系统计算模型建立 | 第48-49页 |
| 2.4.2 模态分析仿真结果 | 第49-51页 |
| 2.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第3章 涡轮叶片与多螺旋槽内部流场数值模拟以及多螺旋槽结构优化 | 第52-74页 |
| 3.1 涡轮叶片结构内部流动数值模拟 | 第52-58页 |
| 3.1.1 数值模拟理论分析 | 第52-54页 |
| 3.1.2 涡轮叶片结构模型网格划分 | 第54页 |
| 3.1.3 涡轮叶片结构计算模型设定 | 第54-56页 |
| 3.1.4 数值模拟结果分析 | 第56-58页 |
| 3.2 多螺旋槽牵引结构设计及其内部流动数值模拟 | 第58-64页 |
| 3.2.1 牵引结构的工作原理 | 第58-60页 |
| 3.2.2 多螺旋槽牵引结构设计 | 第60-61页 |
| 3.2.3 多螺旋槽牵引结构计算模型建立 | 第61-62页 |
| 3.2.4 数值模拟结果分析 | 第62-64页 |
| 3.3 多螺旋槽几何参数对抽速的影响规律 | 第64-69页 |
| 3.3.1 转子转速对多螺旋槽抽速影响规律的研究 | 第64-65页 |
| 3.3.2 槽深对多螺旋槽抽速影响规律的研究 | 第65-66页 |
| 3.3.3 间隙对多螺旋槽抽速影响规律的研究 | 第66-67页 |
| 3.3.4 槽轴向高度对多螺旋槽抽速影响规律的研究 | 第67-68页 |
| 3.3.5 螺旋升角对多螺旋槽抽速影响规律的研究 | 第68-69页 |
| 3.4 多螺旋槽内定子几何参数优化 | 第69-71页 |
| 3.5 多螺旋槽外定子结构改进 | 第71-73页 |
| 3.6 本章小结 | 第73-74页 |
| 第4章 磁悬浮复合分子泵控制器设计 | 第74-96页 |
| 4.1 磁悬浮复合分子泵转子系统建模与状态方程建立 | 第74-77页 |
| 4.2 分散 PID 控制器设计 | 第77-78页 |
| 4.3 变增益自适应控制器设计 | 第78-92页 |
| 4.3.1 磁轴承支承刚度对叶片转子系统模态频率影响规律的研究 | 第79-82页 |
| 4.3.2 交叉反馈补偿控制 | 第82-85页 |
| 4.3.3 陷波滤波器补偿控制 | 第85-86页 |
| 4.3.4 变增益自适应控制器设计 | 第86-92页 |
| 4.4 不平衡控制器设计 | 第92-95页 |
| 4.5 本章小结 | 第95-96页 |
| 第5章 磁悬浮复合分子泵运转实验 | 第96-111页 |
| 5.1 实验平台搭建 | 第96-100页 |
| 5.1.1 DSP 数字控制器 | 第97-99页 |
| 5.1.2 功率放大器 | 第99页 |
| 5.1.3 磁悬浮复合分子泵在线监测系统 | 第99-100页 |
| 5.2 静态悬浮与低速旋转实验 | 第100-103页 |
| 5.3 陀螺效应抑制实验 | 第103-107页 |
| 5.3.1 章动抑制实验 | 第103-105页 |
| 5.3.2 进动抑制实验 | 第105-107页 |
| 5.4 不平衡控制实验 | 第107-108页 |
| 5.5 高速运转实验 | 第108-110页 |
| 5.6 本章小结 | 第110-111页 |
| 结论 | 第111-113页 |
| 参考文献 | 第113-123页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第123-125页 |
| 致谢 | 第125-126页 |
| 个人简历 | 第126页 |
