| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| CONTENTS | 第11-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-23页 |
| 1.1 研究背景意义 | 第14-15页 |
| 1.2 国内外相关研究 | 第15-21页 |
| 1.2.1 超精密研磨技术的发展及研究现状 | 第15-17页 |
| 1.2.2 单晶金刚石机械研磨加工工艺研究现状 | 第17-18页 |
| 1.2.3 金刚石研磨过程中的振动冲击的影响与研究现状 | 第18-19页 |
| 1.2.4 仿真技术在研磨加工中的应用 | 第19-21页 |
| 1.3 课题来源 | 第21页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 弹性浮动研磨原理及振动因素分析 | 第23-32页 |
| 2.1 弹性浮动研磨的原理 | 第23-25页 |
| 2.2 研磨系统振动力学分析 | 第25-27页 |
| 2.2.1 研磨机简化模型的建立 | 第25-26页 |
| 2.2.2 研磨系统振动力学分析 | 第26-27页 |
| 2.3 弹性浮动研磨振动影响因素分析 | 第27-31页 |
| 2.3.1 工艺参数的振动分析 | 第28页 |
| 2.3.2 主轴系统振动分析 | 第28-29页 |
| 2.3.3 研磨盘端跳的振动分析 | 第29-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 工艺参数对研磨振动影响的实验分析 | 第32-43页 |
| 3.1 实验装置及信号采集 | 第32-33页 |
| 3.2 通过实验研究工艺参数对振动的影响 | 第33-37页 |
| 3.2.1 刚度对研磨振动的影响 | 第33-35页 |
| 3.2.2 研磨压力对研磨振动的影响 | 第35-36页 |
| 3.2.3 研磨速度对研磨振动的影响 | 第36-37页 |
| 3.3 工艺参数正交实验分析 | 第37-42页 |
| 3.3.1 试验条件设置 | 第37-38页 |
| 3.3.2 试验结果的分析 | 第38-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 接触载荷变化的实验研究与仿真 | 第43-62页 |
| 4.1 接触载荷与金刚石研磨的关系 | 第43-44页 |
| 4.2 接触载荷的理论分析 | 第44-48页 |
| 4.2.1 忽略阻尼时 | 第44-47页 |
| 4.2.2 考虑系统阻尼时 | 第47-48页 |
| 4.3 通过实验和Simulink仿真手段研究接触刚度K3 | 第48-54页 |
| 4.3.1 实验获得各参数的大小 | 第49-50页 |
| 4.3.2 在Matlab/Simulink中对研磨系统进行建模 | 第50-54页 |
| 4.4 接触载荷影响因素的分析 | 第54-57页 |
| 4.4.1 接触压力对接触载荷的影响 | 第54-56页 |
| 4.4.2 刚度对接触载荷的影响 | 第56-57页 |
| 4.5 接触载荷对相对加速度的影响 | 第57-59页 |
| 4.6 接触载荷变化对金刚石研磨表面质量的影响 | 第59-61页 |
| 4.7 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 综合跳动对金刚石研磨振动的影响 | 第62-82页 |
| 5.1 综合跳动对金刚石研磨的影响 | 第62-63页 |
| 5.2 基于ADAMS综合跳动分析模型的建立 | 第63-73页 |
| 5.2.1 弹性浮动研磨机的三维模型建立 | 第63-65页 |
| 5.2.2 多体动力学软件ADAMS简介 | 第65-66页 |
| 5.2.3 弹性浮动研磨机的简化 | 第66-67页 |
| 5.2.4 仿真参数的确定 | 第67-71页 |
| 5.2.5 柔性体的建立 | 第71-73页 |
| 5.3 仿真结果与分析 | 第73-76页 |
| 5.3.1 仿真分析 | 第73-75页 |
| 5.3.2 动力学模型的实验验证 | 第75-76页 |
| 5.4 综合跳动影响因素分析 | 第76-79页 |
| 5.4.1 主轴转速对金刚石综合跳动的影响 | 第76-77页 |
| 5.4.2 研磨盘的端跳对金刚石综合跳动的影响 | 第77-78页 |
| 5.4.3 研磨盘不平整度影响综合跳动分析 | 第78-79页 |
| 5.5 综合跳动对金刚石研磨表面质量的影响 | 第79-81页 |
| 5.6 本章小结 | 第81-82页 |
| 结论与展望 | 第82-84页 |
| 参考文献 | 第84-88页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第88-90页 |
| 致谢 | 第90页 |
