| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-20页 |
| 1.1 引言 | 第12页 |
| 1.2 压电泵的分类 | 第12-13页 |
| 1.3 有阀压电泵简介 | 第13-14页 |
| 1.4 无阀压电泵的研究现状 | 第14-17页 |
| 1.5 本文的研究意义及主要内容 | 第17-20页 |
| 第2章 圆形压电振子的性能分析 | 第20-28页 |
| 2.1 压电材料基础理论 | 第20页 |
| 2.2 压电材料分类、性能及选用 | 第20-21页 |
| 2.3 压电效应 | 第21-23页 |
| 2.4 压电陶瓷性能参数 | 第23-24页 |
| 2.5 圆形压电振子力学模型 | 第24-26页 |
| 2.6 本章小结 | 第26-28页 |
| 第3章 圆形压电振子的仿真分析及实验 | 第28-40页 |
| 3.1 圆形压电振子有限元模型的建立 | 第28-31页 |
| 3.1.1 仿真时所用相关参数 | 第28-29页 |
| 3.1.2 压电振子几何模型的建立以及网格划分 | 第29-30页 |
| 3.1.3 施加约束载荷 | 第30-31页 |
| 3.2 圆形压电振子的仿真分析 | 第31-35页 |
| 3.2.1 模态分析 | 第31-33页 |
| 3.2.2 静力学分析 | 第33-35页 |
| 3.2.3 谐响应分析 | 第35页 |
| 3.3 圆形压电振子实验 | 第35-39页 |
| 3.3.1 圆形压电振子中心点振幅实验测试 | 第35-38页 |
| 3.3.2 无阀气体压电泵的谐振频率测试 | 第38-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 基于合成射流原理的无阀气体压电泵的仿真分析 | 第40-56页 |
| 4.1 合成射流原理介绍 | 第40-41页 |
| 4.2 本文中无阀气体压电泵的结构及其工作原理 | 第41-43页 |
| 4.2.1 无阀气体压电泵的结构 | 第41-42页 |
| 4.2.2 无阀气体压电泵的工作原理 | 第42-43页 |
| 4.3 流体有限元模型的建立 | 第43-44页 |
| 4.4 CFX流体仿真模型的求解设置 | 第44-47页 |
| 4.5 无阀气体压电泵工作原理仿真 | 第47-51页 |
| 4.6 仿真对比结果分析 | 第51-54页 |
| 4.7 本章小结 | 第54-56页 |
| 第5章 无阀气体压电泵的试验研究 | 第56-68页 |
| 5.1 无阀气体压电泵的制作 | 第56-57页 |
| 5.2 搭建流量测试系统 | 第57-58页 |
| 5.3 无阀气体压电泵的基本性能测试 | 第58-60页 |
| 5.4 无阀气体压电泵流量的试验研究 | 第60-67页 |
| 5.4.1 容腔高度对无阀气体压电泵流量的影响 | 第60-62页 |
| 5.4.2 泵腔高度对无阀气体压电泵流量的影响 | 第62-64页 |
| 5.4.3 射流孔直径对无阀气体压电泵流量的影响 | 第64-65页 |
| 5.4.4 出口直径对无阀气体压电泵流量的影响 | 第65-67页 |
| 5.5 本章小结 | 第67-68页 |
| 第6章 结论与展望 | 第68-70页 |
| 6.1 本文结论 | 第68-69页 |
| 6.2 展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 作者简介及攻读硕士期间学术成果 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |