| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-26页 |
| 1.1 引言 | 第11-14页 |
| 1.1.1 多晶硅的性质和用途 | 第11-12页 |
| 1.1.2 多晶硅产业发展概况 | 第12-14页 |
| 1.2 硅的主要提纯方法 | 第14-18页 |
| 1.2.1 改良西门子法 | 第14-15页 |
| 1.2.2 硅烷热分解法 | 第15-16页 |
| 1.2.3 流化床法 | 第16-17页 |
| 1.2.4 冶金法 | 第17-18页 |
| 1.3 多晶硅尾气回收工艺发展概况 | 第18-20页 |
| 1.3.1 尾气湿法回收技术 | 第18页 |
| 1.3.2 尾气干法回收技术 | 第18-20页 |
| 1.4 多效精馏 | 第20-22页 |
| 1.4.1 多效精馏结构 | 第20-21页 |
| 1.4.2 多效精馏原理和意义 | 第21页 |
| 1.4.3 多效精馏的发展 | 第21-22页 |
| 1.5 夹点技术 | 第22-24页 |
| 1.5.1 夹点的形成及其意义 | 第22-23页 |
| 1.5.2 夹点及夹点温差 | 第23-24页 |
| 1.5.3 夹点技术的应用现状 | 第24页 |
| 1.6 本文的研究目的和主要内容 | 第24-26页 |
| 第2章 多晶硅还原尾气回收与精馏流程模拟 | 第26-39页 |
| 2.1 多晶硅还原尾气回收与精馏装置工艺流程概述 | 第26-29页 |
| 2.2 Aspen Plus物性方法及其选择 | 第29-33页 |
| 2.2.1 热力学方法简介 | 第29-31页 |
| 2.2.2 物性方法的选择 | 第31页 |
| 2.2.3 物性方法的确定 | 第31-33页 |
| 2.3 还原尾气回收与精馏装置稳态模拟的模块选择 | 第33-34页 |
| 2.3.1 精馏塔模块 | 第34页 |
| 2.3.2 换热器模块 | 第34页 |
| 2.3.3 闪蒸模块 | 第34页 |
| 2.4 Aspen Plus软件模拟多晶硅还原尾气回收与精馏流程 | 第34-38页 |
| 2.5 结论 | 第38-39页 |
| 第3章 氯硅烷多效精馏 | 第39-53页 |
| 3.1 常规精馏流程与多效精馏流程 | 第39-42页 |
| 3.2 有效能分析 | 第42-45页 |
| 3.2.1 有效能计算 | 第43页 |
| 3.2.2 有效能损失 | 第43页 |
| 3.2.3 有效能效率 | 第43-44页 |
| 3.2.4 氯硅烷精馏系统有效能分析 | 第44-45页 |
| 3.3 经济分析 | 第45-46页 |
| 3.4 还原尾气精馏系统多效精馏流程的优化 | 第46-52页 |
| 3.4.1 操作压力 | 第47-49页 |
| 3.4.2 进料位置 | 第49-50页 |
| 3.4.3 回流比 | 第50-51页 |
| 3.4.4 优化前后节能对比 | 第51-52页 |
| 3.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 换热网络的夹点技术分析 | 第53-72页 |
| 4.1 换热网络的分析调优 | 第53页 |
| 4.2 夹点技术 | 第53-54页 |
| 4.2.1 夹点位置的确定 | 第53-54页 |
| 4.2.2 最优夹点温差的确定 | 第54页 |
| 4.2.3 夹点技术的设计原则 | 第54页 |
| 4.2.4 夹点技术的设计准则 | 第54页 |
| 4.3 常规流程换热网络分析优化 | 第54-64页 |
| 4.3.1 最优夹点温差的确定 | 第55-57页 |
| 4.3.2 夹点位置的确定 | 第57-60页 |
| 4.3.3 原设计与采用夹点设计的比较 | 第60页 |
| 4.3.4 利用夹点原则检查系统的不合理匹配 | 第60-61页 |
| 4.3.5 常规流程换热网络中存在问题分析 | 第61-62页 |
| 4.3.6 常规流程换热网络改造 | 第62-63页 |
| 4.3.7 常规流程改造后节约能耗及费用 | 第63-64页 |
| 4.4 多效流程换热网络分析优化 | 第64-70页 |
| 4.4.1 最优夹点温差的确定 | 第64-65页 |
| 4.4.2 夹点位置的确定 | 第65-67页 |
| 4.4.3 原设计与采用夹点设计的比较 | 第67页 |
| 4.4.4 利用夹点原则检查系统的不合理匹配 | 第67-69页 |
| 4.4.5 多效流程换热网络的改造优化 | 第69-70页 |
| 4.4.6 多效流程改造后节约能耗及费用 | 第70页 |
| 4.4.7 多效流程改造后与原常规流程的比较 | 第70页 |
| 4.5 本章小结 | 第70-72页 |
| 结论 | 第72-74页 |
| 展望 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-80页 |
| 致谢 | 第80页 |