| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外双频激光干涉仪非线性误差测量技术研究现状 | 第11-16页 |
| 1.2.1 椭圆拟合法 | 第12页 |
| 1.2.2 频谱分析法 | 第12-13页 |
| 1.2.3 幅值测量分析法 | 第13-14页 |
| 1.2.4 纳米对比分析法 | 第14-15页 |
| 1.2.5 相位测量分析法 | 第15-16页 |
| 1.3 双频激光干涉仪非线性误差测量中存在的问题 | 第16页 |
| 1.4 课题主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 测量理论模型的建立 | 第18-26页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 双频激光干涉仪非线性误差原理 | 第18-22页 |
| 2.3 双频激光干涉仪非线性误差测量原理 | 第22-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 测量系统方案设计 | 第26-45页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 测量装置总体方案设计 | 第26-27页 |
| 3.3 光学系统的搭建 | 第27-28页 |
| 3.4 光电探测系统的参数分析 | 第28-29页 |
| 3.5 相位检测系统的设计 | 第29-36页 |
| 3.5.1 IQ 解调原理 | 第29-31页 |
| 3.5.2 测相单元的电路设计 | 第31-36页 |
| 3.6 四倍频电路的设计 | 第36-42页 |
| 3.6.1 信号的倍频方法 | 第37-38页 |
| 3.6.2 信号倍频电路原理设计 | 第38-42页 |
| 3.7 数据采集系统的设计 | 第42-44页 |
| 3.8 本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 实验与测量结果分析 | 第45-69页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 光电探测器输出信号相位稳定度与精度检测实验 | 第45-53页 |
| 4.2.1 相位测量系统精度确定实验 | 第46-48页 |
| 4.2.2 光电探测器输出信号相位稳定度与精度检测实验 | 第48-53页 |
| 4.3 IQ 解调器相位测量精度实验 | 第53-62页 |
| 4.3.1 实验 1：IQ 信号正交性检测实验 | 第53-55页 |
| 4.3.2 实验 2：固定频率变动幅值的测相差单元稳定性检测实验 | 第55-58页 |
| 4.3.3 实验 3：不同频差下的测相差单元稳定性检测实验 | 第58-60页 |
| 4.3.4 实验 4：结合 4 倍频单元的测相差单元稳定性检测实验 | 第60-62页 |
| 4.4 双频激光干涉仪非线性误差测量实验 | 第62-67页 |
| 4.4.1 静态实验 | 第63-65页 |
| 4.4.2 动态实验 | 第65-67页 |
| 4.5 测量结果的精度分析 | 第67-68页 |
| 4.5.1 系统非线性测量结果的精度分析 | 第67页 |
| 4.5.2 位移值测量结果的精度分析 | 第67-68页 |
| 4.6 本章小结 | 第68-69页 |
| 结论 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
