温度及摩擦对光栅刻划机定位精影响的研究
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 目录 | 第10-12页 |
| 插图清单 | 第12-13页 |
| 表格清单 | 第13-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-23页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第14-16页 |
| 1.1.1 光栅的重要用途 | 第14-15页 |
| 1.1.2 光栅的制作方式 | 第15-16页 |
| 1.1.3 课题的来源 | 第16页 |
| 1.2 国内外光栅刻划机的发展及研究现状 | 第16-20页 |
| 1.2.1 光栅刻划机的发展 | 第16-17页 |
| 1.2.2 国外光栅刻划机的现状 | 第17-19页 |
| 1.2.3 国内光栅刻划机的现状 | 第19-20页 |
| 1.3 光栅刻划机的分类 | 第20-21页 |
| 1.4 本论文研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 罗兰型光栅刻划机的工作原理与结构 | 第23-29页 |
| 2.1 罗兰型光栅刻划机的工作原理 | 第23页 |
| 2.2 罗兰型光栅刻划机的组成 | 第23-26页 |
| 2.2.1 定位系统 | 第23-25页 |
| 2.2.2 刻划系统 | 第25页 |
| 2.2.3 测量系统 | 第25-26页 |
| 2.2.4 控制系统 | 第26页 |
| 2.3 罗兰型光栅刻划机的刻划方式 | 第26-27页 |
| 2.3.1 间歇式刻划 | 第26页 |
| 2.3.2 连续式刻划 | 第26-27页 |
| 2.3.3 连续-间歇式刻划 | 第27页 |
| 2.4 罗兰型间歇式光栅刻划机的工作流程 | 第27-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 温度对光栅刻划机定位系统精度的影响分析 | 第29-38页 |
| 3.1 定位系统介绍 | 第29-30页 |
| 3.1.1 粗定位系统 | 第29-30页 |
| 3.1.2 精定位系统 | 第30页 |
| 3.2 光栅刻划机定位系统模型的建立 | 第30-31页 |
| 3.3 环境温度变化对定位系统的影响 | 第31-36页 |
| 3.3.1 有限元热分析理论 | 第31-33页 |
| 3.3.2 温度对定位精度影响分析 | 第33-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 摩擦对光栅刻划机定位系统精度的影响分析 | 第38-65页 |
| 4.1 外台与导轨摩擦生热 | 第38-43页 |
| 4.1.1 外台与导轨发热量计算 | 第38-40页 |
| 4.1.2 定位系统边界条件的确定 | 第40-43页 |
| 4.2 滚珠丝杠副摩擦生热 | 第43-50页 |
| 4.2.1 滚珠丝杠副摩擦力矩计算 | 第45-50页 |
| 4.2.2 滚珠丝杠副发热量计算 | 第50页 |
| 4.3 定位系统的摩擦热-结构耦合分析 | 第50-58页 |
| 4.3.1 稳态热分析 | 第51-55页 |
| 4.3.2 瞬态热分析 | 第55-58页 |
| 4.4 丝杠的摩擦热-结构耦合分析 | 第58-64页 |
| 4.4.1 轴承发热量计算 | 第58-59页 |
| 4.4.2 滚珠丝杠副对流系数计算 | 第59-60页 |
| 4.4.3 稳态热分析 | 第60-64页 |
| 4.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 粗定位系统中滚珠丝杠副关键参数优化 | 第65-74页 |
| 5.1 正交试验法 | 第65-66页 |
| 5.2 滚珠丝杠副的改进 | 第66-73页 |
| 5.3 本章小结 | 第73-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-76页 |
| 6.1 本文工作总结 | 第74-75页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第80页 |
