基于工业以太网的PECVD系统的设计与开发
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 引言 | 第8-9页 |
| 1 国内外发展趋势及研究必要性 | 第9-13页 |
| 1.1 国内外趋势 | 第9-10页 |
| 1.2 存在的问题及研究的必要性 | 第10-11页 |
| 1.2.1 存在的问题 | 第10页 |
| 1.2.2 研究的必要性 | 第10-11页 |
| 1.3 PECVD控制系统的特点 | 第11-13页 |
| 2 PECVD控制系统的设计与开发 | 第13-62页 |
| 2.1 WinCC触摸屏画面设计 | 第13-56页 |
| 2.1.1 系统总览 | 第13-15页 |
| 2.1.2 人机操作界面系统概述 | 第15-30页 |
| 2.1.3 运动控制部分 | 第30-43页 |
| 2.1.4 真空控制部分 | 第43-46页 |
| 2.1.5 温度控制部分 | 第46-49页 |
| 2.1.6 特气控制部分 | 第49-51页 |
| 2.1.7 沉积配方参数界面 | 第51-54页 |
| 2.1.8 射频电源控制 | 第54-56页 |
| 2.2 PLC程序设计 | 第56-61页 |
| 2.2.1 主程序及系统报警程序块 | 第56-57页 |
| 2.2.2 主程序及功能块 | 第57-58页 |
| 2.2.3 DP网络诊断程序 | 第58-59页 |
| 2.2.4 Profinet网络诊断程序功能块 | 第59-60页 |
| 2.2.5 PLC保存参数至驱动器 | 第60-61页 |
| 2.3 工业以太网和Profibus的网络设计 | 第61-62页 |
| 3 PECVD控制系统的测试验证与应用 | 第62-66页 |
| 3.1 PECVD控制系统的测试验证 | 第62-65页 |
| 3.1.1 传动控制系统测试与验证 | 第62-63页 |
| 3.1.2 真空控制系统测试与验证 | 第63页 |
| 3.1.3 温度控制系统测试与验证 | 第63-64页 |
| 3.1.4 特气控制系统测试与验证 | 第64页 |
| 3.1.5 射频电源控制系统测试与验证 | 第64-65页 |
| 3.2 PECVD控制系统的应用 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 附录A 归档数据导出程序 | 第69-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
