| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-15页 |
| 1.3 薄膜热封基本概念 | 第15-18页 |
| 1.3.1 薄膜主要热封形式分析 | 第15-17页 |
| 1.3.2 材料自身热封性能研究 | 第17页 |
| 1.3.3 影响热封质量重要因素 | 第17-18页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第18-20页 |
| 1.5 本章小结 | 第20-21页 |
| 第2章 脉冲式热封机优化设计方案研究 | 第21-45页 |
| 2.1 脉冲式热封机结构优化研究方法 | 第21-22页 |
| 2.2 脉冲式热封机数字模型建立 | 第22页 |
| 2.3 脉冲式热封机有限元模型建立 | 第22-28页 |
| 2.3.1 ANSYS软件基本概念 | 第22-23页 |
| 2.3.2 ANSYS主要功能模块 | 第23-24页 |
| 2.3.3 单元格选择及网格划分 | 第24-27页 |
| 2.3.4 材料模型参数定义 | 第27页 |
| 2.3.5 约束与载荷添加 | 第27-28页 |
| 2.4 脉冲式热封机机械结构优化与分析 | 第28-38页 |
| 2.4.1 脉冲式热封机基本设计要求 | 第29-30页 |
| 2.4.2 第一代脉冲式热封机初步设计方案 | 第30-31页 |
| 2.4.3 第二代脉冲式热封机优化改进方案 | 第31-35页 |
| 2.4.4 基于ANSYS的第三代脉冲式热封机优化方案 | 第35-38页 |
| 2.5 脉冲式热封机电气结构分析 | 第38-44页 |
| 2.5.1 脉冲式热封机控制系统方案 | 第38-41页 |
| 2.5.2 脉冲式热封机监测系统方案 | 第41-44页 |
| 2.6 本章小结 | 第44-45页 |
| 第3章 脉冲式热封机静力学计算与分析 | 第45-71页 |
| 3.1 主梁结构静力学分析 | 第45-54页 |
| 3.1.1 主梁结构静力学计算 | 第47-52页 |
| 3.1.2 主梁结构静力学仿真分析 | 第52-53页 |
| 3.1.3 主梁结构静力学计算与仿真分析对比 | 第53-54页 |
| 3.2 立柱结构静力学分析 | 第54-60页 |
| 3.2.1 立柱结构静力学计算 | 第55-58页 |
| 3.2.2 立柱结构静力学仿真分析 | 第58-59页 |
| 3.2.3 立柱结构静力学计算与仿真分析对比 | 第59-60页 |
| 3.3 主梁、立柱组合结构静力学分析 | 第60-62页 |
| 3.3.1 主梁、立柱组合静力学计算 | 第60-61页 |
| 3.3.2 主梁、立柱组合静力学仿真分析 | 第61-62页 |
| 3.3.3 主梁、立柱组合静力学计算与仿真分析对比 | 第62页 |
| 3.4 底座结构静力学分析 | 第62-67页 |
| 3.4.1 一体式底座结构仿真分析 | 第63-65页 |
| 3.4.2 分体式底座结构仿真分析 | 第65-67页 |
| 3.5 整体结构静力学分析 | 第67-70页 |
| 3.6 本章小结 | 第70-71页 |
| 第4章 脉冲式热封机动力学研究 | 第71-83页 |
| 4.1 脉冲式热封机运动过程分析 | 第71-73页 |
| 4.2 脉冲式热封机模态分析 | 第73-79页 |
| 4.2.1 模态分析基本概念 | 第73-74页 |
| 4.2.2 原结构模态仿真分析 | 第74-76页 |
| 4.2.3 优化结构模态仿真分析 | 第76-79页 |
| 4.3 脉冲式热封机谐响应分析 | 第79-82页 |
| 4.3.1 谐响应分析基本原理 | 第79页 |
| 4.3.2 谐响应分析仿真分析 | 第79-80页 |
| 4.3.3 谐响应分析结果 | 第80-82页 |
| 4.4 本章小结 | 第82-83页 |
| 第5章 基于热固耦合压头结构优化分析 | 第83-115页 |
| 5.1 热固耦合分析机理 | 第83-88页 |
| 5.1.1 热传导微分方程理论 | 第83-84页 |
| 5.1.2 传热边界条件 | 第84页 |
| 5.1.3 热应力基本概念 | 第84-85页 |
| 5.1.4 线性热弹性理论模型 | 第85-87页 |
| 5.1.5 热固耦合分析方法 | 第87-88页 |
| 5.2 镍铬合金热应力分析 | 第88-91页 |
| 5.2.1 平面热应力问题 | 第88-89页 |
| 5.2.2 镍铬合金热应力求解 | 第89-90页 |
| 5.2.3 镍铬合金热膨胀量计算 | 第90-91页 |
| 5.3 镍铬合金实时张紧机构设计与分析 | 第91-96页 |
| 5.3.1 镍铬合金最大拉力试验 | 第91-93页 |
| 5.3.2 镍铬合金实时张紧机构Ⅰ型 | 第93-94页 |
| 5.3.3 镍铬合金实时张紧机构Ⅱ型 | 第94-95页 |
| 5.3.4 两种实时张紧机构对比分析 | 第95-96页 |
| 5.4 底座结构优化设计与研究 | 第96-107页 |
| 5.4.1 材料物性随温度变化关系 | 第96-100页 |
| 5.4.2 压头结构热固耦合分析 | 第100-106页 |
| 5.4.3 不同底座结构热固耦合仿真结果对比 | 第106-107页 |
| 5.5 硅胶垫参数优化设计与分析 | 第107-114页 |
| 5.5.1 W5系列硅胶垫热固耦合分析对比 | 第109-111页 |
| 5.5.2 W10系列硅胶垫热固耦合分析对比 | 第111-113页 |
| 5.5.3 不同厚度硅胶垫热固耦合分析对比 | 第113-114页 |
| 5.6 本章小结 | 第114-115页 |
| 第6章 试验数据分析 | 第115-121页 |
| 6.1 试验准备工作 | 第115-117页 |
| 6.3 试验项目实施 | 第117-118页 |
| 6.4 试验结果 | 第118-120页 |
| 6.4.1 压头结构优化前后试验结果对比分析 | 第119-120页 |
| 6.4.2 张紧机构Ⅰ型、Ⅱ型试验结果对比分析 | 第120页 |
| 6.5 本章小结 | 第120-121页 |
| 第7章 结论与展望 | 第121-123页 |
| 7.1 研究结论 | 第121-122页 |
| 7.1.1 研究成果 | 第121页 |
| 7.1.2 创新点 | 第121-122页 |
| 7.2 研究展望 | 第122-123页 |
| 参考文献 | 第123-129页 |
| 致谢 | 第129-131页 |
| 攻读硕士学位期间公开发表的论文 | 第131页 |