| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 注释表 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-25页 |
| 1.1 微细加工技术 | 第12-15页 |
| 1.1.1 LIGA与LIGA-like技术 | 第12-13页 |
| 1.1.2 微细切削加工技术 | 第13-14页 |
| 1.1.3 激光加工 | 第14-15页 |
| 1.1.4 微细电火花加工技术 | 第15页 |
| 1.2 微细电化学加工技术 | 第15-20页 |
| 1.2.1 微细电铸技术 | 第15-16页 |
| 1.2.2 掩模微细电解加工技术 | 第16-17页 |
| 1.2.3 电液束微细电解加工技术 | 第17页 |
| 1.2.4 超短脉冲微细电解加工技术 | 第17-20页 |
| 1.3 微细电解线切割加工技术 | 第20-23页 |
| 1.4 课题研究意义及主要研究内容 | 第23-25页 |
| 1.4.1 课题研究意义 | 第23-24页 |
| 1.4.2 本文研究的主要内容 | 第24-25页 |
| 第二章 微螺旋电极电解切割加工原理 | 第25-41页 |
| 2.1 电解线切割加工原理 | 第25-28页 |
| 2.1.1 电解线切割加工 | 第25-26页 |
| 2.1.2 电解线切割加工强化传质方法 | 第26-28页 |
| 2.2 微螺旋电极电解切割原理 | 第28-39页 |
| 2.2.1 微螺旋电极电解切割加工技术的提出 | 第28-29页 |
| 2.2.2 电解切割加工间隙内传质、传热过程分析 | 第29-31页 |
| 2.2.3 电解切割加工间隙流场模拟分析 | 第31-39页 |
| 2.3 本章小结 | 第39-41页 |
| 第三章 微螺旋电极电解切割试验系统 | 第41-51页 |
| 3.1 微螺旋电极电解切割试验系统设计 | 第41-43页 |
| 3.1.1 微螺旋电极电解切割试验系统的要求 | 第41页 |
| 3.1.2 试验系统的总体设计 | 第41-43页 |
| 3.2 微螺旋电极电解切割试验系统关键部件 | 第43-46页 |
| 3.2.1 运动平台 | 第43-44页 |
| 3.2.2 电解液循环系统 | 第44-45页 |
| 3.2.3 高速主轴-电极系统 | 第45-46页 |
| 3.3 微螺旋电极电解切割试验系统控制方案 | 第46-50页 |
| 3.3.1 控制方案总体设计 | 第46-47页 |
| 3.3.2 控制系统软件设计 | 第47-50页 |
| 3.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 微螺旋电极电解切割工艺试验研究 | 第51-66页 |
| 4.1 试验安排 | 第51-52页 |
| 4.2 旋转电极电解切割加工工艺试验研究 | 第52-57页 |
| 4.2.1 圆柱电极旋转对加工的影响 | 第52-53页 |
| 4.2.2 圆柱电极与螺旋电极旋转电解切割加工比较 | 第53-57页 |
| 4.3 微螺旋电极电解切割工艺试验研究 | 第57-64页 |
| 4.3.1 加工电压对切缝侧面间隙的影响 | 第57-59页 |
| 4.3.2 脉冲频率对切缝侧面间隙的影响 | 第59-60页 |
| 4.3.3 占空比对切缝侧面间隙的影响 | 第60-61页 |
| 4.3.4 电解液浓度对切缝侧面间隙的影响 | 第61-62页 |
| 4.3.5 进给速度对切缝侧面间隙的影响 | 第62-64页 |
| 4.4 典型复杂微结构的加工 | 第64-65页 |
| 4.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 总结与展望 | 第66-67页 |
| 5.1 本论文研究工作总结 | 第66页 |
| 5.2 未来研究工作展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第72页 |