| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第12-27页 |
| 1.1 压电泵的研究现状 | 第13-18页 |
| 1.1.1 压电泵国外研究现状 | 第13-16页 |
| 1.1.2 压电泵国内研究现状 | 第16-18页 |
| 1.2 压电共振泵的研究现状 | 第18-24页 |
| 1.2.1 压电共振泵国外研究现状 | 第18-22页 |
| 1.2.2 压电共振泵国内研究现状 | 第22-24页 |
| 1.3 选题意义及本文研究的主要内容 | 第24-27页 |
| 1.3.1 选题意义 | 第24-25页 |
| 1.3.2 本文研究的主要内容 | 第25-27页 |
| 2 压电材料性能与压电振子振动特性分析 | 第27-38页 |
| 2.1 压电材料的属性 | 第27-30页 |
| 2.1.1 压电材料 | 第27页 |
| 2.1.2 正逆压电效应 | 第27-28页 |
| 2.1.3 压电材料的分类 | 第28-29页 |
| 2.1.4 压电材料的性能参数 | 第29-30页 |
| 2.2 压电振子基本振动特性分析 | 第30-34页 |
| 2.2.1 压电振子的结构形状 | 第30页 |
| 2.2.2 压电方程 | 第30-32页 |
| 2.2.3 压电振子的振动模式 | 第32-33页 |
| 2.2.4 压电振子支撑方式的选择 | 第33-34页 |
| 2.3 矩形压电振子的测试分析 | 第34-37页 |
| 2.3.1 试验器材 | 第34-35页 |
| 2.3.2 压电振子振幅与驱动电压关系 | 第35-36页 |
| 2.3.3 压电振子振幅变形曲线的拟合 | 第36页 |
| 2.3.4 压电振子振幅与频率关系 | 第36-37页 |
| 2.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 3 矩形压电振子不同支撑方式的仿真分析与试验研究 | 第38-48页 |
| 3.1 矩形压电振子的接线方式 | 第38页 |
| 3.2 矩形压电振子三种支撑方式 | 第38-39页 |
| 3.3 矩形压电振子支撑方式的COMSOL特性仿真分析 | 第39-42页 |
| 3.3.1 压电振子位移特性仿真分析 | 第39-41页 |
| 3.3.2 压电振子模态特性仿真分析 | 第41-42页 |
| 3.4 中间固支支撑矩形压电振子静态特性仿真分析 | 第42-45页 |
| 3.4.1 压电振子结构尺寸对两自由端动挠度的影响 | 第42-44页 |
| 3.4.2 压电振子结构尺寸参数与端部冲击能力关系 | 第44-45页 |
| 3.5 矩形压电振子试验性能测试 | 第45-47页 |
| 3.5.1 压电振子三种支撑方式的试验分析 | 第45-46页 |
| 3.5.2 中间固支压电振子阻抗分析 | 第46-47页 |
| 3.6 本章小结 | 第47-48页 |
| 4 悬置式惯性压电共振隔膜泵的设计 | 第48-62页 |
| 4.1 共振泵的工作过程 | 第48-49页 |
| 4.2 共振泵激振单元的结构和共振原理 | 第49-58页 |
| 4.2.1 激振单元的结构设计 | 第49-51页 |
| 4.2.2 激振单元的共振原理 | 第51页 |
| 4.2.3 激振单元动力学模型建立 | 第51-55页 |
| 4.2.4 激振单元部分结构刚度优化 | 第55-58页 |
| 4.3 共振泵激振单元试验测试 | 第58-61页 |
| 4.3.1 激振单元共振频率的测试 | 第58-59页 |
| 4.3.2 驱动电压对位移的影响 | 第59-60页 |
| 4.3.3 位移放大倍数的测量 | 第60-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 5 悬置式惯性压电共振隔膜泵的试验研究 | 第62-74页 |
| 5.1 共振泵泵送单元内部结构优化及影响因素分析 | 第62-67页 |
| 5.1.1 泵送单元结构与工作机制 | 第62-63页 |
| 5.1.2 隔膜的挠度分析 | 第63-66页 |
| 5.1.3 容积变化率的影响 | 第66页 |
| 5.1.4 气泡对共振泵输出性能影响 | 第66-67页 |
| 5.1.5 阀的滞后性影响 | 第67页 |
| 5.2 悬置式惯性压电共振隔膜泵的试验测试研究 | 第67-72页 |
| 5.2.1 试验器材 | 第67-68页 |
| 5.2.2 截止阀的选取 | 第68-70页 |
| 5.2.3 驱动电压对共振泵输出性能影响 | 第70页 |
| 5.2.4 阀孔直径对共振泵输出性能影响 | 第70-71页 |
| 5.2.5 腔体高度对共振泵输出性能影响 | 第71-72页 |
| 5.2.6 传振杆长度对共振泵输出性能影响 | 第72页 |
| 5.3 共振泵的频率特性 | 第72-73页 |
| 5.4 本章小结 | 第73-74页 |
| 结论 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第81页 |
