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脉冲激光表面烧蚀微织构工艺与激光器系统研究

摘要第5-7页
ABSTRACT第7-8页
第一章 绪论第11-22页
    1.1 引言第11-12页
    1.2 表面织构技术研究进展第12-14页
        1.2.1 表面织构的用途及特点第12-13页
        1.2.2 表面织构加工技术种类第13-14页
    1.3 激光表面织构形貌研究进展第14-20页
        1.3.1 不同脉宽激光烧蚀表面织构形貌研究第14-19页
        1.3.2 激光微织构加工方法第19-20页
    1.4 本课题主要研究内容及意义第20-21页
        1.4.1 研究内容第20-21页
        1.4.2 研究意义第21页
    1.5 本课题来源第21-22页
第二章 脉冲激光烧蚀金属及微加工理论模型第22-28页
    2.1 激光与金属材料的能量耦合第22-23页
    2.2 金属靶材加热、熔化和气化第23-24页
    2.3 蒸发材料羽的扩张第24-26页
    2.4 等离子体形成第26-27页
    2.5 等离子体对激光的吸收第27页
    2.6 微加工理论模型第27-28页
第三章 激光微织构加工系统的激光器设计第28-42页
    3.1 LD侧泵Nd:YAG激光器组件第28-34页
        3.1.1 LD泵浦模块第28-32页
        3.1.2 工作介质热透镜焦距第32-33页
        3.1.3 激光调Q技术及Q开关选型第33-34页
    3.2 激光器谐振腔的设计第34-39页
        3.2.1 光学谐振腔的种类第35-36页
        3.2.2 谐振腔参数的计算第36-39页
    3.3 输出激光参数的测量第39-41页
        3.3.1 激光器的输出功率第40页
        3.3.2 激光脉宽与光斑第40-41页
    3.4 本章小结第41-42页
第四章 激光表面微织构工艺研究第42-54页
    4.1 激光微织构工艺实验第42-44页
        4.1.1 “单脉冲同点间隔多次(SPI)”工艺第42-43页
        4.1.2 实验装置及方案第43-44页
        4.1.3 形貌表征与检测第44页
    4.2 激光能量密度对微凹腔形貌尺寸的影响第44-50页
        4.2.1 微凹腔直径的演变规律第45-47页
        4.2.2 微凹腔深度的演变规律第47-49页
        4.2.3 微凹腔熔渣高度的演变规律第49-50页
    4.3 脉冲个数对微凹腔形貌尺寸的影响第50-51页
    4.4 不同材料对微凹腔形貌尺寸的影响第51-53页
    4.5 本章小结第53-54页
第五章 SPI工艺特点及优势第54-61页
    5.1 SPI工艺与同点连续多次加工工艺温度场对比分析第54-58页
    5.2 两种工艺试验结果比较第58页
    5.3 SPI工艺的“平滑”作用第58-59页
    5.4 SPI工艺使用效率估算第59-60页
    5.5 本章小结第60-61页
第六章 总结与展望第61-63页
    6.1 总结第61-62页
    6.2 展望第62-63页
参考文献第63-69页
致谢第69-70页
攻读硕士学位期间取得的研究成果第70页

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