| 中文摘要 | 第4-5页 |
| 英文摘要 | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 阻变式随机存储器(RRAM)的简介 | 第8-16页 |
| 1.1.1 阻变存储器的结构 | 第9-10页 |
| 1.1.2 电阻转变特性的分类 | 第10-11页 |
| 1.1.3 阻变存储器的机制模型的简介 | 第11-14页 |
| 1.1.4 阻变式随机存储器(RRAM)的发展 | 第14-16页 |
| 1.2 LiFePO4结构及选择依据 | 第16-19页 |
| 1.3 本论文的选题依据及研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 阻变式随机存储器件的制备及薄膜的表征 | 第20-27页 |
| 2.1 基于LiFePO4阻变式随机存储器件的制备 | 第20-23页 |
| 2.1.1 仪器的简介 | 第20-22页 |
| 2.1.2 不同退火温度器件的制备 | 第22-23页 |
| 2.1.3 不同底电极器件的制备 | 第23页 |
| 2.2 LiFePO4薄膜的表征 | 第23-26页 |
| 2.2.1 X射线衍射(XRD) | 第23-24页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜(SEM) | 第24-26页 |
| 2.3 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 基于LiFePO4阻变式随机存储器件的研究 | 第27-42页 |
| 3.1 LiFePO4阻变器件的条件优化 | 第27-33页 |
| 3.1.1 退火温度对Au/LiFePO4/C阻变器件的影响 | 第27-31页 |
| 3.1.2 底电极对阻变器件的影响 | 第31-33页 |
| 3.2600 度退火的Au/LiFePO4/C器件的阻变性能 | 第33-38页 |
| 3.2.1 不同扫描电压下器件的阻变性能 | 第33-35页 |
| 3.2.2 不同限制电流下器件的阻变性能 | 第35-37页 |
| 3.2.3 电阻转换时间测试 | 第37-38页 |
| 3.3 Au/LiFePO4/C器件的阻变机制 | 第38-41页 |
| 3.3.1 不同电阻态的温度依赖测试 | 第38-39页 |
| 3.3.2 二次离子质谱对深度剖面Li含量的分析 | 第39-40页 |
| 3.3.3 LiFePO4阻变模型的建立 | 第40-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-47页 |
| 致谢 | 第47页 |
