| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 概论 | 第10-12页 |
| 1.2 二氧化硅和聚合物材料SU8的研究与应用 | 第12-17页 |
| 1.2.1 二氧化硅光波导器件 | 第12-14页 |
| 1.2.2 聚合物材料SU8光波导器件 | 第14-17页 |
| 1.3 本文的章节安排及创新点 | 第17-18页 |
| 第二章 平面光波导基本理论及数值方法 | 第18-30页 |
| 2.1 平面光波导理论 | 第18-26页 |
| 2.1.1 平板波导 | 第20-21页 |
| 2.1.2 等效折射率方法(EIM) | 第21-23页 |
| 2.1.3 单模条件 | 第23-24页 |
| 2.1.4 模式耦合理论 | 第24-26页 |
| 2.2 光波导数值计算方法 | 第26-29页 |
| 2.3 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 混合集成热光开关 | 第30-46页 |
| 3.1 光开关概述 | 第30-31页 |
| 3.2 SU8和二氧化硅波导耦合解决方案 | 第31-36页 |
| 3.2.1 定向耦合 | 第32-34页 |
| 3.2.2 端面耦合 | 第34-36页 |
| 3.3 混合集成热光开关的设计与仿真 | 第36-45页 |
| 3.3.1 3dB功分器(合波器) | 第36-39页 |
| 3.3.2 SU8和二氧化硅混合型波导的优化设计 | 第39-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 器件制作及测试 | 第46-62页 |
| 4.1 工艺简介 | 第46-49页 |
| 4.2 工艺流程 | 第49-59页 |
| 4.2.1 二氧化硅波导的制作 | 第50-53页 |
| 4.2.2 窗口套刻 | 第53-56页 |
| 4.2.3 SU8-SiO_2混合集成热光开关的制作 | 第56-59页 |
| 4.3 器件测试 | 第59-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 总结与展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 作者简介 | 第67页 |