| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第14-28页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第14-15页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第15-27页 |
| 1.2.1 具有垂直运动系统的超精密机床国内外研究现状 | 第15-22页 |
| 1.2.2 液体静压润滑技术研究现状 | 第22-25页 |
| 1.2.3 超精密垂直运动系统几何误差建模研究现状 | 第25-27页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第27-28页 |
| 第2章 基于对称性原则的超精密垂直运动系统设计 | 第28-53页 |
| 2.1 引言 | 第28页 |
| 2.2 超精密垂直运动系统总体设计 | 第28-39页 |
| 2.2.1 垂直运动系统总体机械结构设计及优化 | 第29-34页 |
| 2.2.2 驱动系统设计 | 第34-36页 |
| 2.2.3 位置测量系统 | 第36-38页 |
| 2.2.4 计算机控制系统设计 | 第38-39页 |
| 2.3 新型框架式结构小孔节流液体静压导轨设计 | 第39-42页 |
| 2.3.1 垂直运动系统静压导轨结构参数的确定 | 第39-40页 |
| 2.3.2 静压导轨主要性能参数计算 | 第40-42页 |
| 2.4 基于刚体力学的超精密垂直运动系统静力学分析 | 第42-52页 |
| 2.4.1 简化的垂直运动系统刚度链模型 | 第43-47页 |
| 2.4.2 驱动偏心的影响 | 第47-49页 |
| 2.4.3 卸荷位置的影响 | 第49-51页 |
| 2.4.4 几何结构参数的影响 | 第51-52页 |
| 2.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第3章 超精密垂直运动系统液体静压导轨静态特性研究 | 第53-90页 |
| 3.1 引言 | 第53页 |
| 3.2 变油膜厚度小孔节流液体静压导轨润滑建模 | 第53-65页 |
| 3.2.1 Navier-Stokes方程的建立 | 第53-56页 |
| 3.2.2 变油膜厚度静压液体润滑Reynolds方程 | 第56-61页 |
| 3.2.3 小孔流量特性 | 第61-62页 |
| 3.2.4 油膜内流量 | 第62-64页 |
| 3.2.5 油膜厚度 | 第64-65页 |
| 3.3 变油膜厚度静压液体润滑Reynolds方程数值求解 | 第65-70页 |
| 3.3.1 变油膜厚度Reynolds方程的无量纲化 | 第65-66页 |
| 3.3.2 变油膜厚度Reynolds方程的离散化 | 第66-68页 |
| 3.3.3 求解域的离散化及边界条件处理 | 第68-69页 |
| 3.3.4 求解过程 | 第69-70页 |
| 3.4 垂直运动系统液体静压导轨静态性能分析 | 第70-88页 |
| 3.4.1 重力场的影响 | 第71-73页 |
| 3.4.2 静压导轨油垫设计参数的影响 | 第73-81页 |
| 3.4.3 导轨结构弹性变形对静压油垫静态特性的影响 | 第81-82页 |
| 3.4.4 静压油垫静态特性的温度场敏感性 | 第82-85页 |
| 3.4.5 鲁棒性设计法的提出及静压导轨参数优化 | 第85-88页 |
| 3.5 本章小结 | 第88-90页 |
| 第4章 超精密垂直运动系统动态特性建模及其分析 | 第90-111页 |
| 4.1 引言 | 第90页 |
| 4.2 超精密垂直运动系统动力学方程的建立 | 第90-93页 |
| 4.3 垂直运动系统动态特性影响参数的辨识与建模 | 第93-101页 |
| 4.3.1 垂直运动系统惯量及结构刚度参数 | 第93页 |
| 4.3.2 超精密垂直运动系统阻尼参数的确定 | 第93-101页 |
| 4.4 超精密垂直运动系统动态特性的有限元分析 | 第101-109页 |
| 4.4.1 不考虑静压导轨油垫作用的垂直运动系统结构模态分析 | 第101-105页 |
| 4.4.2 考虑静压导轨油垫作用的垂直运动系统结构模态分析 | 第105-108页 |
| 4.4.3 超精密垂直运动系统谐响应分析 | 第108-109页 |
| 4.5 本章小结 | 第109-111页 |
| 第5章 超精密垂直运动系统几何误差建模及其分析 | 第111-148页 |
| 5.1 引言 | 第111页 |
| 5.2 小孔节流液体静压导轨几何误差模型的建立 | 第111-117页 |
| 5.2.1 等效油膜厚度 | 第111-114页 |
| 5.2.2 开式单油垫小孔节流液体静压导轨几何误差模型 | 第114页 |
| 5.2.3 闭式双油垫小孔节流液体静压导轨几何误差模型 | 第114-117页 |
| 5.3 液体静压导轨几何误差影响因素分析 | 第117-124页 |
| 5.3.1 静压导轨宽度方向几何误差对导轨精度的影响 | 第118-120页 |
| 5.3.2 静压导轨长度方向几何误差对导轨精度的影响 | 第120-122页 |
| 5.3.3 油膜刚度对双油垫导轨精度的影响 | 第122-123页 |
| 5.3.4 对静压导轨设计准则的补充 | 第123-124页 |
| 5.4 静压导轨几何误差模型的实验验证 | 第124-127页 |
| 5.5 油膜误差均化作用下的垂直运动系统几何误差建模与分析 | 第127-146页 |
| 5.5.1 多体系统误差建模与分析运动学基础 | 第127-129页 |
| 5.5.2 垂直运动系统误差源分析 | 第129-130页 |
| 5.5.3 位姿误差模型的建立 | 第130-139页 |
| 5.5.4 垂直运动系统位姿误差仿真结果分析 | 第139-146页 |
| 5.6 本章小结 | 第146-148页 |
| 结论 | 第148-150页 |
| 参考文献 | 第150-157页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第157-159页 |
| 致谢 | 第159-160页 |
| 个人简历 | 第160页 |
