| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-17页 |
| 1.2.1 短波长紫外激光加工蓝宝石基片的研究现状 | 第12-15页 |
| 1.2.2 超短脉冲激光加工蓝宝石基片的研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3 课题来源及主要研究内容 | 第17-19页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第17页 |
| 1.3.2 本文研究的主要内容 | 第17-19页 |
| 第2章 激光加工机理 | 第19-27页 |
| 2.1 激光与物质作用的一般规律 | 第19-21页 |
| 2.2 短波长紫外激光加工蓝宝石机理的理论分析 | 第21-23页 |
| 2.3 超短脉冲皮秒激光加工蓝宝石机理的理论分析 | 第23-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-27页 |
| 第3章 实验材料、方法和装置 | 第27-35页 |
| 3.1 实验材料 | 第27-28页 |
| 3.1.1 蓝宝石晶体结构 | 第27页 |
| 3.1.2 蓝宝石晶体主要的物理性能 | 第27-28页 |
| 3.2 实验设备装置 | 第28-32页 |
| 3.2.1 激光加工系统 | 第28-31页 |
| 3.2.2 实验材料处理及测量仪器 | 第31-32页 |
| 3.3 实验研究方法 | 第32-33页 |
| 3.3.1 激光冲孔实验 | 第32页 |
| 3.3.2 激光刻槽实验 | 第32-33页 |
| 3.3.3 激光切割实验 | 第33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-35页 |
| 第4章 355nm紫外纳秒激光加工蓝宝石基片的实验研究 | 第35-43页 |
| 4.1 引言 | 第35页 |
| 4.2 紫外激光作用蓝宝石的损伤阈值 | 第35-36页 |
| 4.3 激光工艺参数对蓝宝石基片微加工的影响及规律 | 第36-40页 |
| 4.4 紫外激光对蓝宝石基片加工结果及分析 | 第40页 |
| 4.5 本章小结 | 第40-43页 |
| 第5章 1064nm皮秒激光加工蓝宝石基片的实验研究 | 第43-55页 |
| 5.1 引言 | 第43页 |
| 5.2 皮秒激光作用蓝宝石的损伤阈值 | 第43-44页 |
| 5.3 激光工艺参数对蓝宝石基片微加工的影响及规律 | 第44-49页 |
| 5.3.1 激光平均功率对蓝宝石基片加工的影响 | 第44-46页 |
| 5.3.2 激光扫描速度对蓝宝石基片加工的影响 | 第46-48页 |
| 5.3.3 激光扫描次数对蓝宝石基片加工的影响 | 第48-49页 |
| 5.4 皮秒激光对蓝宝石基片加工结果及分析 | 第49-54页 |
| 5.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 攻读硕士学位期间的科研成果 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
