| 致谢 | 第5-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-10页 |
| 1 绪论 | 第20-40页 |
| 1.1 研究背景 | 第20-22页 |
| 1.2 国内外点衍射干涉技术研究历程及进展 | 第22-35页 |
| 1.2.1 点衍射干涉技术研究历程概述 | 第22-24页 |
| 1.2.2 光纤点衍射干涉仪 | 第24-30页 |
| 1.2.3 共路型针孔点衍射干涉仪 | 第30-34页 |
| 1.2.4 针孔点衍射干涉面形检测系统 | 第34-35页 |
| 1.3 本论文的主要研究内容和完成的工作 | 第35-37页 |
| 1.4 本论文的主要创新点 | 第37-40页 |
| 2 高精度点衍射球面面形干涉检测技术概述 | 第40-52页 |
| 2.1 高精度点衍射球面面形干涉检测系统布局及原理 | 第40-42页 |
| 2.2 影响系统检测精度的主要误差 | 第42-50页 |
| 2.2.1 影响针孔衍射波前质量的关键元件及其参数 | 第43-47页 |
| 2.2.2 其他影响系统检测精度的误差 | 第47-50页 |
| 2.3 本章小结 | 第50-52页 |
| 3 照明显微物镜像差对针孔衍射波前质量的影响分析 | 第52-74页 |
| 3.1 照明显微物镜的聚焦光场分布分析 | 第52-62页 |
| 3.1.1 显微物镜聚焦光场分布的矢量衍射分析 | 第53-55页 |
| 3.1.2 带像差聚焦物镜的焦点光波场分析 | 第55-62页 |
| 3.2 基于时域有限差分算法的针孔衍射波前质量分析 | 第62-64页 |
| 3.2.1 基于FDTD算法的针孔衍射波前仿真流程 | 第62-63页 |
| 3.2.2 基于FDTD算法的针孔衍射波前仿真模型 | 第63-64页 |
| 3.3 照明显微物镜不同像差对针孔衍射波前质量的影响 | 第64-73页 |
| 3.3.1 针孔衍射波前的强度分析 | 第64-67页 |
| 3.3.2 针孔衍射波前的相位分布 | 第67-73页 |
| 3.4 本章小结 | 第73-74页 |
| 4 大数值孔径球面面形的点衍射检测中的布局几何系统误差分析 | 第74-88页 |
| 4.1 系统布局特性引入的几何系统误差 | 第74-78页 |
| 4.2 基于仿真的布局几何系统误差分析 | 第78-83页 |
| 4.2.1 布局特性引入的系统波像差的主要成分分析 | 第78-80页 |
| 4.2.2 检测数值孔径对布局几何系统误差的影响 | 第80-81页 |
| 4.2.3 横向偏移量对布局几何系统误差的影响 | 第81-83页 |
| 4.3 对称侧检测SPAC误差差校正方法 | 第83-87页 |
| 4.3.1 SPAC误差校正原理及过程 | 第83-85页 |
| 4.3.2 SPAC误差校正方法的计算机仿真验证 | 第85-87页 |
| 4.4 本章小结 | 第87-88页 |
| 5 高精度点衍射球面面形检测系统对比度可调技术 | 第88-112页 |
| 5.1 基于偏振技术的点衍射干涉仪对比度调整原理 | 第88-91页 |
| 5.2 检测路真零级四分之一波片引入系统误差的分析 | 第91-99页 |
| 5.2.1 偏振膜层引入误差的分析 | 第92-98页 |
| 5.2.2 波片玻璃基底引入误差的分析 | 第98-99页 |
| 5.3 检测路四分之一波片的玻璃基底参数和布局设计 | 第99-105页 |
| 5.3.1 参数设计 | 第100-101页 |
| 5.3.2 布局设计 | 第101-102页 |
| 5.3.3 定位误差引入的波前误差 | 第102-105页 |
| 5.4 检测路四分之一波片引入的系统误差消除方法 | 第105-109页 |
| 5.4.1 波片引入误差的校正处理过程 | 第106-107页 |
| 5.4.2 校正方法的仿真验证 | 第107-109页 |
| 5.5 本章小结 | 第109-112页 |
| 6 高精度点衍射系统的球面面形检测实验 | 第112-132页 |
| 6.1 高精度点衍射球面面形检测实验系统 | 第112-116页 |
| 6.1.1 实验系统布局 | 第112-115页 |
| 6.1.2 验证实验体系 | 第115-116页 |
| 6.2 照明显微物镜像差对点衍射面形检测的影响 | 第116-122页 |
| 6.2.1 点衍射系统实际使用的显微物镜对应的衍射波前的评价 | 第116-118页 |
| 6.2.2 应用不同显微物镜及针孔构建的点衍射系统的面形检测实验比较 | 第118-122页 |
| 6.3 大数值孔径球面面形检测实验 | 第122-126页 |
| 6.3.1 验证实验设计及其流程 | 第122-124页 |
| 6.3.2 大数值孔径球面面形检测实验结果及SPAC误差校正方法验证 | 第124-126页 |
| 6.4 高精度点衍射球面面形检测系统的对比度调整实验 | 第126-130页 |
| 6.4.1 干涉条纹对比度调整效果实验验证 | 第126-127页 |
| 6.4.2 对比度可调的点衍球面射面形检测系统的球面检测实验结果 | 第127-130页 |
| 6.5 本章小结 | 第130-132页 |
| 7 总结与展望 | 第132-136页 |
| 7.1 本文工作总结 | 第132-133页 |
| 7.2 本论文的主要创新点 | 第133-134页 |
| 7.3 未来工作展望 | 第134-136页 |
| 参考文献 | 第136-144页 |
| 作者简历 | 第144-145页 |
