硅微机械陀螺仪数字化静电补偿与调谐技术研究和实验
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-30页 |
| 1.1 硅微机械陀螺仪概述 | 第12-14页 |
| 1.1.1 硅微机械陀螺仪特点 | 第12-13页 |
| 1.1.2 硅微机械陀螺仪应用 | 第13页 |
| 1.1.3 硅微机械陀螺仪分类 | 第13-14页 |
| 1.2 硅微机械陀螺仪研究现状 | 第14-27页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第14-19页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第19-23页 |
| 1.2.3 频率调谐国内外研究现状 | 第23-27页 |
| 1.3 课题研究目的及意义 | 第27页 |
| 1.4 课题来源及研究内容 | 第27-30页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第27页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第27-28页 |
| 1.4.3 论文章节安排 | 第28-30页 |
| 第二章 硅微机械陀螺仪基本理论 | 第30-44页 |
| 2.1 引言 | 第30页 |
| 2.2 硅微机械陀螺仪基本工作原理 | 第30-33页 |
| 2.3 硅微机械陀螺仪驱动和检测原理 | 第33-40页 |
| 2.3.1 梳齿电容静电力驱动原理 | 第33-34页 |
| 2.3.2 梳齿电容检测原理 | 第34-36页 |
| 2.3.3 电容/电压转换接口 | 第36-40页 |
| 2.4 硅微机械陀螺仪基本结构 | 第40-41页 |
| 2.5 硅微机械陀螺仪数字测控系统总体架构 | 第41-42页 |
| 2.6 本章小结 | 第42-44页 |
| 第三章 硅微机械陀螺仪数字化驱动控制技术研究 | 第44-64页 |
| 3.1 引言 | 第44页 |
| 3.2 硅微机械陀螺仪数字化驱动控制技术简介 | 第44-45页 |
| 3.3 硅微机械陀螺仪驱动模态数字化模型 | 第45-47页 |
| 3.4 硅微机械陀螺仪驱动模态数字化相位闭环技术 | 第47-51页 |
| 3.4.1 锁相环基本工作原理 | 第47-49页 |
| 3.4.2 相位闭环稳定性分析 | 第49-51页 |
| 3.5 硅微机械陀螺仪驱动模态数字化幅度闭环技术 | 第51-56页 |
| 3.5.1 自动增益控制基本原理 | 第51-54页 |
| 3.5.2 幅度闭环稳定性分析 | 第54-56页 |
| 3.6 硅微机械陀螺仪数字闭环驱动系统仿真 | 第56-59页 |
| 3.7 数字闭环驱动系统实验及测试 | 第59-62页 |
| 3.7.1 瞬态响应实验 | 第59-61页 |
| 3.7.2 稳态响应实验 | 第61-62页 |
| 3.8 本章小结 | 第62-64页 |
| 第四章 硅微机械陀螺仪检测技术研究 | 第64-88页 |
| 4.1 引言 | 第64页 |
| 4.2 硅微机械陀螺仪开环检测技术 | 第64-73页 |
| 4.2.1 开环检测工作原理 | 第64-67页 |
| 4.2.2 开环检测系统性能分析 | 第67-69页 |
| 4.2.3 开环检测系统仿真 | 第69-73页 |
| 4.3 硅微机械陀螺仪闭环检测技术 | 第73-84页 |
| 4.3.1 硅微机械陀螺仪检测力反馈结构简介 | 第74-75页 |
| 4.3.2 闭环检测工作原理 | 第75-77页 |
| 4.3.3 闭环检测系统仿真模型 | 第77-79页 |
| 4.3.4 闭环校正器设计 | 第79-84页 |
| 4.4 实验及测试 | 第84-86页 |
| 4.5 本章小结 | 第86-88页 |
| 第五章 硅微机械陀螺仪正交校正技术研究 | 第88-104页 |
| 5.1 引言 | 第88页 |
| 5.2 正交误差 | 第88-89页 |
| 5.3 正交误差校正 | 第89-100页 |
| 5.3.1 正交力校正 | 第90-95页 |
| 5.3.2 正交刚度校正 | 第95-100页 |
| 5.4 正交校正实验及测试 | 第100-103页 |
| 5.5 本章小结 | 第103-104页 |
| 第六章 硅微机械陀螺仪频率调谐技术研究 | 第104-126页 |
| 6.1 引言 | 第104页 |
| 6.2 频率调谐技术基本原理 | 第104-106页 |
| 6.3 频率调谐特性开环调节测试 | 第106-109页 |
| 6.3.1 常温特性 | 第106-107页 |
| 6.3.2 全温特性 | 第107-109页 |
| 6.4 频率自匹配技术研究 | 第109-125页 |
| 6.4.1 基于相频特性的频率自匹配调节技术 | 第109-113页 |
| 6.4.2 基于低频调制激励的频率自匹配调节技术 | 第113-121页 |
| 6.4.3 基于BP神经网络的频率自匹配调节技术 | 第121-125页 |
| 6.5 本章小结 | 第125-126页 |
| 第七章 硅微机械陀螺仪数字化测控电路设计与实验 | 第126-154页 |
| 7.1 引言 | 第126页 |
| 7.2 测控电路与实验设备 | 第126-127页 |
| 7.3 数字解调算法设计与对比 | 第127-146页 |
| 7.3.1 乘法解调 | 第127-128页 |
| 7.3.2 最小均方解调 | 第128-131页 |
| 7.3.3 傅里叶解调 | 第131-133页 |
| 7.3.4 全相位FFT解调 | 第133-137页 |
| 7.3.5 同步积分解调 | 第137-144页 |
| 7.3.6 数字解调算法性能对比 | 第144-146页 |
| 7.4 硅微机械陀螺仪主要性能测试 | 第146-152页 |
| 7.4.1 标度因数性能测试 | 第146-147页 |
| 7.4.2 阈值测试 | 第147-148页 |
| 7.4.3 分辨率测试 | 第148页 |
| 7.4.4 零偏性能测试 | 第148-150页 |
| 7.4.5 带宽测试 | 第150-151页 |
| 7.4.6 整体性能汇总 | 第151-152页 |
| 7.5 本章小结 | 第152-154页 |
| 第八章 总结与展望 | 第154-158页 |
| 8.1 论文研究总结 | 第154-156页 |
| 8.2 未来工作展望 | 第156-158页 |
| 致谢 | 第158-160页 |
| 参考文献 | 第160-168页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第168页 |
