| 摘要 | 第11-13页 |
| ABSTRACT | 第13-15页 |
| 第一章 绪论 | 第16-28页 |
| 1.1 铁电薄膜简介 | 第16-18页 |
| 1.1.1 铁电薄膜的研究现状 | 第16-17页 |
| 1.1.2 双层及多层薄膜的研究背景及意义 | 第17-18页 |
| 1.2 BaTiO_3结构及电学性能 | 第18-20页 |
| 1.2.1 BaTiO_3晶体结构 | 第18-19页 |
| 1.2.2 BaTiO_3电学及储能特性 | 第19-20页 |
| 1.3 BiFeO_3结构及电学性能 | 第20-21页 |
| 1.3.1 BiFeO_3晶体结构 | 第20页 |
| 1.3.2 BiFeO_3电学性能 | 第20-21页 |
| 1.4 铁电薄膜的制备技术 | 第21-23页 |
| 1.4.1 磁控溅射法 | 第21-22页 |
| 1.4.2 脉冲激光沉积法 | 第22页 |
| 1.4.3 分子束外延法 | 第22页 |
| 1.4.4 溶胶凝胶法 | 第22-23页 |
| 1.4.5 金属有机化学气相沉积法 | 第23页 |
| 1.5 钛酸钡及铁酸铋系薄膜中低温制备现状 | 第23-24页 |
| 1.6 储能密度的影响因素 | 第24-25页 |
| 1.6.1 提高薄膜击穿场强 | 第24-25页 |
| 1.6.2 增大饱和极化强度与剩余极化强度差值 | 第25页 |
| 1.7 本课题主要研究内容 | 第25-28页 |
| 1.7.1 本课题研究目标 | 第25-26页 |
| 1.7.2 本课题的研究内容 | 第26-28页 |
| 第二章 BiFeO_3/BaTiO_3双层薄膜的制备与表征 | 第28-36页 |
| 2.1 BiFeO_3/BaTiO_3双层薄膜的制备 | 第28-32页 |
| 2.1.1 实验原材料及仪器 | 第28-29页 |
| 2.1.2 BiFeO_3/BaTiO_3双层薄膜的制备 | 第29-32页 |
| 2.2 BiFeO_3/BaTiO_3双层薄膜的性能表征 | 第32-34页 |
| 2.2.1 薄膜的形貌、结构表征 | 第32-33页 |
| 2.2.2 薄膜的电学性能表征 | 第33-34页 |
| 2.3 本章小结 | 第34-36页 |
| 第三章 BiFeO_3/BaTiO_3/SrRuO_3/SrTiO_3异质结构的研究 | 第36-62页 |
| 3.1 BiFeO_3/BaTiO_3双层薄膜结构及制备工艺设计 | 第36-38页 |
| 3.2 不同厚度比例BiFeO_3/BaTiO_3双层薄膜性能研究 | 第38-48页 |
| 3.2.1 微观结构 | 第38-41页 |
| 3.2.2 BiFeO_3/BaTiO_3双层薄膜的电学性能 | 第41-44页 |
| 3.2.3 BiFeO_3/BaTiO_3双层薄膜储能特性的研究 | 第44-48页 |
| 3.3 总厚度对BiFeO_3/BaTiO_3双层薄膜的影响 | 第48-55页 |
| 3.3.1 微观结构 | 第48-49页 |
| 3.3.2 电学性能 | 第49-51页 |
| 3.3.3 特殊比例下的电滞回线 | 第51-55页 |
| 3.4 衬底取向对BiFeO_3/BaTiO_3双层薄膜的影响 | 第55-60页 |
| 3.4.1 微观结构 | 第55-56页 |
| 3.4.2 铁电性能 | 第56-57页 |
| 3.4.3 介电性能 | 第57-60页 |
| 3.5 本章小结 | 第60-62页 |
| 第四章 Si衬底上BiFeO_3/BaTiO_3双层薄膜的中低温制备 | 第62-78页 |
| 4.1 Si衬底上BiFeO_3/BaTiO_3双层薄膜的结构设计 | 第62-63页 |
| 4.2 500℃制备的双层薄膜的性能研究 | 第63-67页 |
| 4.2.1 微观结构及晶体取向 | 第63-65页 |
| 4.2.2 电滞回线及能量存储特性 | 第65-66页 |
| 4.2.3 介电及漏电性能 | 第66-67页 |
| 4.3 双层薄膜制备温度的研究 | 第67-73页 |
| 4.3.1 基片位置对薄膜性能的影响 | 第68-69页 |
| 4.3.2 不同温度下的双层薄膜的微观结构 | 第69-70页 |
| 4.3.3 不同温度下的双层薄膜的铁电及储能特性 | 第70-72页 |
| 4.3.4 不同温度下的双层薄膜的介电性能 | 第72-73页 |
| 4.4 不同取向的Si基底对薄膜性能的影响 | 第73-75页 |
| 4.4.1 微观结构 | 第73-74页 |
| 4.4.2 电学性能 | 第74-75页 |
| 4.5 本章小结 | 第75-78页 |
| 第五章 结论与展望 | 第78-80页 |
| 5.1 结论 | 第78-79页 |
| 5.2 展望 | 第79页 |
| 5.3 创新点 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-88页 |
| 致谢 | 第88-90页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第90-91页 |
| 附表 | 第91页 |
