首页--工业技术论文--一般工业技术论文--工程材料学论文--工程材料一般性问题论文

偏压对直流磁控溅射制备铝镁钛硼涂层结构及性能影响的研究

摘要第11-13页
ABSTRACT第13-15页
第1章 绪论第16-33页
    1.1 研究背景第16-19页
    1.2 Al-Mg-Ti-B材料的研究进展第19-23页
        1.2.1 Al-Mg-B结构第19-20页
        1.2.2 Al-Mg-B材料特性第20-21页
        1.2.3 Al-Mg-B材料的制备第21-22页
        1.2.4 Al-Mg-Ti-B薄膜与涂层第22-23页
    1.3 镀膜技术第23-25页
        1.3.1 真空蒸发镀膜第23页
        1.3.2 真空离子镀膜第23-24页
        1.3.3 化学气相沉积CVD镀膜第24页
        1.3.4 真空溅射镀膜第24-25页
    1.4 摩擦学基础第25-31页
        1.4.1 摩擦种类第26-28页
        1.4.2 润滑剂的类型第28-30页
        1.4.3 AlMgB_(14)-TiB_2涂层耐磨性能第30-31页
    1.5 本论文选题依据和主要研究内容第31-33页
第2章 样品制备与表征方法第33-41页
    2.1 涂层制备第33-37页
        2.1.1 涂层设备第33-34页
        2.1.2 靶材制备第34页
        2.1.3 衬底及预处理第34-36页
        2.1.4 镀膜过程第36-37页
    2.2 样品的测试分析设备第37-41页
        2.2.1 样品的形貌分析第37-38页
        2.2.2 样品的成分分析第38-39页
        2.2.3 样品的结构分析第39页
        2.2.4 力学性能分析第39-40页
        2.2.5 摩擦学测试第40-41页
第3章 Al-Mg-Ti-B材料结构成分力学性能的研究第41-59页
    3.1 靶材的表征第41-43页
        3.1.1 靶材表面形貌及成分的分析第41页
        3.1.2 靶材结构分析第41-43页
    3.2 涂层的表征第43-58页
        3.2.1 涂层的制备条件第43-44页
        3.2.2 涂层表面形貌分析第44-45页
        3.2.3 涂层断面形貌分析第45-48页
        3.2.4 涂层结构分析第48页
        3.2.5 涂层深度成分均匀性分析第48-50页
        3.2.6 涂层成分分析第50-51页
        3.2.7 涂层表面化学状态第51-54页
        3.2.8 涂层应力的研究第54-55页
        3.2.9 涂层纳米压痕测试第55-58页
    3.3 本章小结第58-59页
第4章 偏压对油润滑Al-Mg-Ti-B涂层摩擦行为与机理影响的研究第59-81页
    4.1 对照组摩擦磨损测试第60-62页
    4.2 不同偏压制备Al-Mg-Ti-B涂层的表面粗糙度与润滑类型分析第62-66页
    4.3 不同偏压制备Al-Mg-Ti-B涂层摩擦行为测试第66-69页
    4.4 Al-Mg-Ti-B涂层磨痕形貌分析第69-70页
    4.5 涂层磨痕处成分及化学态的分析第70-77页
        4.5.1 磨痕成分分析第70-72页
        4.5.2 B元素的化学状态第72-73页
        4.5.3 Ti元素的化学状态第73-75页
        4.5.4 Mo元素的化学状态第75-77页
    4.6 对磨球面的表面分析第77-80页
    4.7 本章小结第80-81页
第5章 结论与展望第81-84页
    5.1 论文的主要结论第81-82页
    5.2 论文的创新点第82页
    5.3 存在问题和今后工作方向第82-84页
参考文献第84-91页
致谢第91-93页
学位论文评阅及答辩情况表第93页

论文共93页,点击 下载论文
上一篇:SHT1080/Q460高强钢GMAW接头裂纹及组织研究
下一篇:BiFeO3/BaTiO3双层铁电薄膜及其在硅上的集成