| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第12-19页 |
| 1.1 引言 | 第12-14页 |
| 1.1.1 NO_2的性质及危害 | 第12页 |
| 1.1.2 NO_2的检测方法 | 第12-14页 |
| 1.2 金属氧化物基NO_2气体传感器的发展 | 第14-16页 |
| 1.3 气体传感器的特点及主要特性参数 | 第16-17页 |
| 1.4 本论文主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 金属氧化物基气体传感器的基本原理及薄膜测试方法 | 第19-26页 |
| 2.1 金属氧化物基气体传感器的基本工作原理 | 第19-20页 |
| 2.1.1 物理吸附与化学吸附 | 第19页 |
| 2.1.2 金属氧化物基半导体的气体吸附原理 | 第19-20页 |
| 2.2 薄膜的表征测试方法 | 第20-24页 |
| 2.2.1 扫描电子显微镜（SEM） | 第20-21页 |
| 2.2.2 紫外-可见分光光度法（UV-Vis） | 第21-22页 |
| 2.2.3 傅里叶变换红外光谱分析法（FT-IR） | 第22-23页 |
| 2.2.4 X射线光电子能谱分析法（XPS） | 第23页 |
| 2.2.5 激光拉曼光谱分析法（Raman） | 第23-24页 |
| 2.2.6 X射线衍射分析法（XRD） | 第24页 |
| 2.3 气敏特性测试系统的搭建 | 第24-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 rGO/CeO_2敏感薄膜的制备及其NO_2气敏特性研究 | 第26-42页 |
| 3.1 引言 | 第26-27页 |
| 3.2 rGO/CeO_2分层复合膜的制备 | 第27-30页 |
| 3.2.1 实验材料及设备 | 第27-28页 |
| 3.2.2 分层复合膜的制备 | 第28-30页 |
| 3.3 敏感薄膜的表征测试及分析 | 第30-34页 |
| 3.3.1 SEM形貌分析 | 第30-31页 |
| 3.3.2 UV-Vis光谱分析 | 第31-32页 |
| 3.3.3 FT-IR光谱分析 | 第32-33页 |
| 3.3.4 XPS能谱分析 | 第33-34页 |
| 3.4 rGO/CeO_2分层复合膜的NO_2气敏特性研究 | 第34-39页 |
| 3.4.1 单一rGO膜和rGO/CeO_2分层复合膜对NO_2的气敏性能对比 | 第34-35页 |
| 3.4.2 不同掺杂量对rGO/CeO_2分层复合膜NO_2气敏性能的影响 | 第35-37页 |
| 3.4.3 分层复合膜对不同浓度NO_2气体的响应特性 | 第37-38页 |
| 3.4.4 分层复合膜的重复性和选择性 | 第38-39页 |
| 3.5 rGO/CeO_2分层复合膜的NO_2气敏响应机理 | 第39-41页 |
| 3.6 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 ZnO NR\α-6T敏感薄膜的制备及其NO_2气敏特性研究 | 第42-63页 |
| 4.1 引言 | 第42-43页 |
| 4.2 水热生长氧化锌纳米柱薄膜及其形貌分析 | 第43-47页 |
| 4.2.1 实验材料及设备 | 第43-44页 |
| 4.2.2 氧化锌种子层的制备 | 第44-45页 |
| 4.2.3 氧化锌薄膜的生长 | 第45-46页 |
| 4.2.4 氧化锌纳米柱薄膜的形貌分析 | 第46-47页 |
| 4.3 ZnO NR\α-6T分层复合膜的制备 | 第47-48页 |
| 4.4 敏感薄膜的表征测试及分析 | 第48-55页 |
| 4.4.1 SEM形貌分析 | 第48-50页 |
| 4.4.2 Raman光谱分析 | 第50-51页 |
| 4.4.3 UV-Vis光谱分析 | 第51-53页 |
| 4.4.4 XRD光谱分析 | 第53-55页 |
| 4.5 ZnO NR\α-6T分层复合膜对NO_2的气敏性能研究 | 第55-59页 |
| 4.5.1 单一薄膜和分层复合膜对NO_2的气敏性能对比 | 第55-56页 |
| 4.5.2 不同 α-6T厚度对ZnO NR\α-6T分层复合膜NO_2气敏性能的影响 | 第56-57页 |
| 4.5.3 分层复合膜对不同浓度NO_2气体的响应特性 | 第57-58页 |
| 4.5.4 分层复合膜的重复性 | 第58-59页 |
| 4.6 ZnO NR\α-6T分层复合膜的NO_2气敏响应机理 | 第59-61页 |
| 4.7 本章小结 | 第61-63页 |
| 第五章 结论与展望 | 第63-66页 |
| 5.1 结论 | 第63-64页 |
| 5.2 展望 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第73-74页 |
