| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第10-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3 本文主要工作 | 第15-16页 |
| 第二章 电容式微加速度计封装误差分析 | 第16-26页 |
| 2.1 电容式微加速度计工作原理 | 第16-17页 |
| 2.2 有限元方法简介 | 第17-20页 |
| 2.2.1 ABAQUS软件简介 | 第18-19页 |
| 2.2.2 COMSOL软件简介 | 第19-20页 |
| 2.3 电容式微加速度计封装加工工艺 | 第20-22页 |
| 2.4 粘接胶不均匀性的几种情形 | 第22-23页 |
| 2.5 粘接胶不均匀性处理 | 第23-25页 |
| 2.6 本章小节 | 第25-26页 |
| 第三章 粘接胶不均匀及梁不对称对微加速度计的影响 | 第26-52页 |
| 3.1 电容式微加速度计三层结构热变形理论分析 | 第26-35页 |
| 3.1.1 中间层均匀三层结构热变形理论分析 | 第26-31页 |
| 3.1.2 中间层不均匀三层结构热变形理论分析 | 第31-35页 |
| 3.2 粘接胶不均匀对微加速度计输出的影响 | 第35-45页 |
| 3.2.1 理论计算和仿真分析电容对比 | 第35-39页 |
| 3.2.2 粘接胶不均匀对微加速度计输出的影响 | 第39-45页 |
| 3.3 粘接胶不均匀及梁不对称对微加速度计输出的影响 | 第45-51页 |
| 3.3.1 左侧梁宽度大于右侧梁宽度 | 第45-48页 |
| 3.3.2 右侧梁宽度大于左侧梁宽度 | 第48-51页 |
| 3.4 本章小节 | 第51-52页 |
| 第四章 粘接胶不均匀及空洞对微加速度计的影响 | 第52-58页 |
| 4.1 粘接胶不均匀及空洞分布对微加速度计输出的影响 | 第52-55页 |
| 4.2 粘接胶不均匀及空洞大小对微加速度计输出的影响 | 第55-57页 |
| 4.3 本章小节 | 第57-58页 |
| 第五章 粘接胶弹性模量对微加速度计的影响 | 第58-64页 |
| 5.1 粘接胶不均匀下弹性模量对微加速度计的影响 | 第58-60页 |
| 5.2 粘接胶不均匀及梁不对称下弹性模量对微加速度计的影响 | 第60-62页 |
| 5.3 粘接胶不均匀及空洞下弹性模量对微加速度计的影响 | 第62-63页 |
| 5.4 本章小节 | 第63-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 本文总结 | 第64-65页 |
| 6.2 展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 攻读硕士期间取得的成果 | 第71-72页 |
