基于电渗驱动纳米压印技术研究
| 物理量名称及主要符号表 | 第1-10页 |
| 摘要 | 第10-12页 |
| ABSTRACT | 第12-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-28页 |
| ·课题研究的背景及意义 | 第14-18页 |
| ·大面积纳米压印技术国内外研究现状 | 第18-26页 |
| ·课题来源 | 第26页 |
| ·本文主要的研究内容 | 第26-28页 |
| ·电渗驱动纳米压印理论分析 | 第26页 |
| ·电渗驱动纳米压印有限元模拟 | 第26-27页 |
| ·实验平台的搭建 | 第27-28页 |
| 第二章 电渗驱动纳米压印理论分析 | 第28-43页 |
| ·电渗驱动纳米压印工艺 | 第28-32页 |
| ·电渗驱动纳米压印工艺原理 | 第28-29页 |
| ·电渗驱动纳米压印工艺简介 | 第29-31页 |
| ·电渗驱动纳米压印工艺特点 | 第31-32页 |
| ·电渗流 | 第32-36页 |
| ·双电层的原理 | 第32-34页 |
| ·电渗流相关物理场及控制方程 | 第34-35页 |
| ·电渗流的流速方程 | 第35-36页 |
| ·外加电场方程 | 第36页 |
| ·传统纳米压印理论分析 | 第36-38页 |
| ·电渗驱动纳米压印公式推导 | 第38-41页 |
| ·计算外加电场强度 | 第38-40页 |
| ·计算填充时间 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第三章 电渗驱动纳米压印数值模拟 | 第43-58页 |
| ·仿真模型的建立以及仿真参数的设置 | 第43-45页 |
| ·仿真软件的选择 | 第43-44页 |
| ·仿真模型的建立 | 第44页 |
| ·仿真参数的设置 | 第44-45页 |
| ·仿真结果及讨论 | 第45-56页 |
| ·一秒压印时间聚合物填充高度 | 第45-47页 |
| ·不同电压强度下聚合物的最终填充高度。 | 第47-49页 |
| ·模具腔体宽度对最终复型高度的影响 | 第49-51页 |
| ·模具腔体深度对最终复型高度的影响 | 第51-52页 |
| ·不同光刻胶粘度对复型高度的影响 | 第52-54页 |
| ·不同光刻胶密度对复型高度的影响 | 第54-55页 |
| ·不同光刻胶厚度对复型高度的影响 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第四章 电渗驱动纳米压印实验平台搭建 | 第58-70页 |
| ·总体方案设计 | 第58-61页 |
| ·PET、PDMS、ITO和有机玻璃的组合 | 第58-59页 |
| ·导电PET、PDMS、ITO和有机玻璃的组合 | 第59-60页 |
| ·导电PET、PDMS、蓝宝石衬底的组合 | 第60页 |
| ·最终方案的选定 | 第60-61页 |
| ·模板的制作 | 第61-65页 |
| ·母模板的制备 | 第61-63页 |
| ·实验平台模板的制作 | 第63-65页 |
| ·其他部件的选择 | 第65-68页 |
| ·蓝宝石衬底的选择 | 第65-67页 |
| ·透明导电PET的选用 | 第67-68页 |
| ·光刻胶的调配 | 第68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 第五章 总结与展望 | 第70-73页 |
| ·结论与创新点 | 第70-71页 |
| ·展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 攻读硕士期间完成的科研成果 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
