一种实时外差剪切散斑干涉测量技术
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 1 引言 | 第10-14页 |
| 2 数字剪切散斑干涉测量技术 | 第14-26页 |
| ·散斑的概念 | 第14-15页 |
| ·散斑测量技术的发展 | 第15-22页 |
| ·散斑照相计量技术 | 第15-17页 |
| ·电子散斑干涉测量技术(ESPI) | 第17-18页 |
| ·剪切散斑干涉测量技术 | 第18-20页 |
| ·时域散斑干涉测量技术(TSPI) | 第20-22页 |
| ·数字剪切散斑干涉测量技术 | 第22-26页 |
| ·原理 | 第22-24页 |
| ·应用 | 第24-26页 |
| 3 实时外差剪切散斑干涉测量技术 | 第26-35页 |
| ·激光外差探测技术 | 第26-28页 |
| ·激光外差探测技术的原理 | 第26-28页 |
| ·激光外差探测技术使用的外差源 | 第28页 |
| ·外差剪切散斑干涉测量系统结构 | 第28-29页 |
| ·系统结构理论分析 | 第29-35页 |
| ·激光外差产生和传输的理论计算 | 第30-31页 |
| ·渥拉斯顿棱镜造成的光程差的理论计算 | 第31-35页 |
| 4 有限元仿真分析 | 第35-40页 |
| ·建模 | 第35-37页 |
| ·参数配置 | 第37页 |
| ·有限元分析结果 | 第37-40页 |
| 5 实时外差剪切散斑干涉测量实验 | 第40-52页 |
| ·实验装置 | 第40-42页 |
| ·激光光源 | 第40-41页 |
| ·光电探测器 | 第41页 |
| ·被测物 | 第41-42页 |
| ·剪切装置-渥拉斯顿棱镜 | 第42页 |
| ·实验光路及实验过程 | 第42-47页 |
| ·实验光路 | 第42-45页 |
| ·实验配置 | 第45页 |
| ·实验过程 | 第45-47页 |
| ·实验结果 | 第47-49页 |
| ·实验分析与讨论 | 第49-52页 |
| ·实验结果分析 | 第49-50页 |
| ·实验测量精度的提高 | 第50-52页 |
| 6 结论与展望 | 第52-53页 |
| ·结论 | 第52页 |
| ·展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 作者简历及攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第56-58页 |
| 学位论文数据集 | 第58页 |
