硅基微环谐振腔的设计与制作

致谢	第1-6页
摘要	第6-7页
ABSTRACT	第7-11页
1 引言	第11-17页
·研究背景和意义	第11-16页
·硅基微环谐振腔的研究进展	第12-15页
·硅基微环谐振腔的研究意义	第15-16页
·本文的主要内容	第16-17页
2 SOI微环谐振腔	第17-30页
·SOI光波导器件	第17-20页
·SOI光波导的模式特性	第17-19页
·SOI光波导的损耗特性	第19-20页
·微环谐振腔的基本特性和理论分析	第20-29页
·微环谐振腔的基本结构	第23-27页
·微环谐振腔的主要性能参数	第27-29页
·本章小结	第29-30页
3 SOI高Q微环谐振腔的设计	第30-40页
·仿真设置	第30-33页
·时域有限差分法(FDTD)介绍	第30-31页
·仿真软件的设计流程	第31-32页
·仿真软件中Q值的计算原理	第32-33页
·仿真模拟	第33-39页
·结构设计	第34-35页
·波导宽度和损耗的关系	第35-36页
·微环波导宽度和Q值的关系	第36-38页
·耦合间距、平板高度对Q值的影响	第38-39页
·本章小结	第39-40页
4 SOI微环谐振腔的制作与实验	第40-51页
·微环谐振腔的制作	第40-44页
·版图的设计	第40-41页
·关键工艺介绍	第41-44页
·微环谐振腔的测试	第44-50页
·测试系统	第45-46页
·测试结果及分析比较	第46-50页
·本章小结	第50-51页
5 结论	第51-52页
参考文献	第52-56页
作者简历及攻读硕士学位期间取得的研究成果	第56-58页
学位论文数据集	第58页