| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-21页 |
| 主要符号表 | 第21-24页 |
| 1 绪论 | 第24-46页 |
| ·金属氮化物和超晶格薄膜 | 第24-32页 |
| ·金属氮化物薄膜 | 第24-27页 |
| ·金属氮化物超晶格薄膜 | 第27-32页 |
| ·磁控溅射沉积薄膜技术 | 第32-44页 |
| ·平衡与非平衡磁控溅射 | 第35-37页 |
| ·脉冲直流磁控溅射 | 第37-39页 |
| ·高功率脉冲磁控溅射 | 第39-41页 |
| ·深振荡磁控溅射 | 第41-44页 |
| ·本文的研究目的和内容 | 第44-46页 |
| 2 深振荡磁控溅射复合沉积CrN/TiN超晶格薄膜工艺 | 第46-51页 |
| ·深振荡磁控溅射复合沉积薄膜装置 | 第46-47页 |
| ·深振荡磁控溅射复合沉积CrN/TiN超晶格薄膜工艺参数 | 第47-51页 |
| 3 CrN/TiN超晶格薄膜表征方法 | 第51-58页 |
| ·沉积速率 | 第51页 |
| ·成分和结构 | 第51-53页 |
| ·性能 | 第53-58页 |
| ·残余应力 | 第53-54页 |
| ·纳米压痕 | 第54-55页 |
| ·结合力 | 第55-56页 |
| ·热稳定性 | 第56页 |
| ·摩擦学性能 | 第56-57页 |
| ·腐蚀性能 | 第57-58页 |
| 4 脉冲直流磁控溅射沉积CrN/TiN超晶格薄膜 | 第58-87页 |
| ·CrN/TiN超晶格薄膜的沉积速率 | 第58-59页 |
| ·CrN/TiN超晶格薄膜的成分和结构 | 第59-68页 |
| ·CrN/TiN超晶格薄膜的性能 | 第68-82页 |
| ·残余应力 | 第68页 |
| ·纳米压痕 | 第68-73页 |
| ·结合力 | 第73-75页 |
| ·热稳定性 | 第75-76页 |
| ·摩擦学性能 | 第76-80页 |
| ·腐蚀性能 | 第80-82页 |
| ·讨论 | 第82-85页 |
| ·脉冲直流溅射功率对薄膜的成分和结构影响 | 第82-83页 |
| ·薄膜的成分和结构对性能影响 | 第83-85页 |
| ·本章小结 | 第85-87页 |
| 5 深振荡磁控溅射复合沉积CrN/TiN超晶格薄膜成分和结构 | 第87-104页 |
| ·CrN/TiN超晶格薄膜的沉积速率 | 第87-88页 |
| ·CrN/TiN超晶格薄膜的成分和结构 | 第88-101页 |
| ·讨论 | 第101-102页 |
| ·深振荡脉冲频率对薄膜成分和结构的影响 | 第101页 |
| ·深振荡磁控溅射复合沉积薄膜特性 | 第101-102页 |
| ·本章小结 | 第102-104页 |
| 6 深振荡磁控溅射复合沉积CrN/TiN超晶格薄膜性能 | 第104-142页 |
| ·残余应力 | 第104-108页 |
| ·纳米压痕 | 第108-109页 |
| ·结合力 | 第109-117页 |
| ·热稳定性 | 第117-119页 |
| ·摩擦学性能 | 第119-131页 |
| ·腐蚀性能 | 第131-136页 |
| ·讨论 | 第136-140页 |
| ·调制周期和离子能量对薄膜力学性能影响 | 第136-137页 |
| ·薄膜/基体体系协同变形能力 | 第137-138页 |
| ·退火温度对薄膜热稳定性的影响 | 第138页 |
| ·薄膜/基体体系协同变形机制对摩擦学行为控制 | 第138-139页 |
| ·调制周期和离子能量对薄膜腐蚀性能影响 | 第139-140页 |
| ·本章小结 | 第140-142页 |
| 7 结论与展望 | 第142-144页 |
| ·结论 | 第142-143页 |
| ·创新点 | 第143-144页 |
| 参考文献 | 第144-154页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文和专利情况 | 第154-156页 |
| 致谢 | 第156-158页 |
| 作者简介 | 第158页 |
