超精密圆柱度误差测量方法研究
| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·课题的研究背景及意义 | 第7-8页 |
| ·圆柱度误差测量方法 | 第8-9页 |
| ·半径测量法 | 第8-9页 |
| ·坐标测量法 | 第9页 |
| ·两点、三点测量法 | 第9页 |
| ·圆柱度误差的国内外研究现状 | 第9-11页 |
| ·国内研究现状 | 第10页 |
| ·国外研究现状 | 第10-11页 |
| ·课题拟解决的关键问题 | 第11页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第11-12页 |
| ·本章小结 | 第12-13页 |
| 第二章 电容传感器的基本理论 | 第13-30页 |
| ·前言 | 第13页 |
| ·电容传感器的理论基础 | 第13-14页 |
| ·电容传感器的数学模型 | 第14-23页 |
| ·电容式传感器的主要性能特点 | 第23-24页 |
| ·圆柱度误差的评定方法 | 第24-29页 |
| ·最小区域法(MZC) | 第26-27页 |
| ·最小外接圆柱法(MCC) | 第27页 |
| ·最大内接圆柱法(MIC) | 第27页 |
| ·最小二乘外接圆柱法(MZC) | 第27页 |
| ·试验数据分析 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 电容形面传感法原理 | 第30-39页 |
| ·前言 | 第30页 |
| ·多导体系统电容、部分电容 | 第30-34页 |
| ·电容计算方法 | 第31页 |
| ·电容参数求解过程 | 第31-34页 |
| ·电容形面传感法测量原理 | 第34-38页 |
| ·电容形面传感法测量原理的提出 | 第34页 |
| ·测量原理的数值验证 | 第34-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 电容式测量头结构设计及优化 | 第39-56页 |
| ·前言 | 第39-40页 |
| ·电容式测量头结构设计 | 第40-42页 |
| ·电容式测量头结构改进 | 第42-44页 |
| ·电容式测量头结构尺寸参数优化 | 第44-55页 |
| ·正交试验方法概述 | 第44-46页 |
| ·正交试验方法原理 | 第46页 |
| ·极差分析法基本原理 | 第46-47页 |
| ·试验设计 | 第47-50页 |
| ·试验结果分析 | 第50-51页 |
| ·试验结果的直观分析 | 第51-52页 |
| ·极差分析 | 第52-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 测量装置机械结构设计 | 第56-60页 |
| ·前言 | 第56页 |
| ·测量装置结构总体设计 | 第56-57页 |
| ·关键部件结构设计 | 第57-59页 |
| ·电容式测量头调整驱动部件 | 第57-58页 |
| ·电容式测量头调整随动部件 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第六章 结论与展望 | 第60-62页 |
| ·主要工作及结论 | 第60页 |
| ·本文的创新点 | 第60-61页 |
| ·前景展望 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 作者简介 | 第66页 |
| 攻读硕士学位期间研究成果 | 第66-67页 |
