MEMS器件工艺特性及其性能测试的研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| ·引言 | 第11-13页 |
| ·微细加工技术的现状及其发展趋势 | 第13-14页 |
| ·微细电火花加工机理的综述 | 第14-20页 |
| ·微细电火花放电通道的概述 | 第15-16页 |
| ·微细电火花蚀除过程的概述 | 第16-17页 |
| ·微细电火花放电通道中能量的概述 | 第17-18页 |
| ·微细电火花表面质量的综述 | 第18-20页 |
| ·制作微细电极的方法概述 | 第20-22页 |
| ·单脉冲放电制作微细电极 | 第20页 |
| ·线电极磨削法( WEDG)制作微细电极 | 第20-22页 |
| ·电解法制作微细电极 | 第22页 |
| ·课题的提出和课题的来源 | 第22-23页 |
| ·课题主要的研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 微细电火花实验分析与研究 | 第25-40页 |
| ·微细电火花实验机理的分析 | 第25-26页 |
| ·微细电火花加工的蚀除过程 | 第26页 |
| ·微细电火花加工放电通道的研究 | 第26-31页 |
| ·放电通道的形成 | 第27页 |
| ·放电通道的特性 | 第27-31页 |
| ·放电通道的能量分析 | 第31-32页 |
| ·实验加工参数与表面质量的研究 | 第32-39页 |
| ·实验后的表面凹坑分析 | 第33-34页 |
| ·电参数对微细电火花表面质量的影响 | 第34-36页 |
| ·对表面凹坑的仿真分析 | 第36-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 微细电火花加工工艺的研究 | 第40-52页 |
| ·工艺参数的优化的方法 | 第40-41页 |
| ·微细电火花数控设备 | 第40-41页 |
| ·试验的设计 | 第41页 |
| ·各放电参数对加工时间的影响 | 第41-46页 |
| ·各放电参数对电极损耗的影响 | 第46-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 基于工艺参数优化的微小件的加工 | 第52-59页 |
| ·微齿轮的概述 | 第52页 |
| ·对微齿轮的加工分析 | 第52-55页 |
| ·对隔爆板的概述 | 第55页 |
| ·对隔爆板的加工分析 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第五章 微细电极制备的研究 | 第59-67页 |
| ·制备微细电极方法的总结 | 第59-60页 |
| ·本次制备微细电极的试验 | 第60-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
