静电场微小力测量垂直式装置的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| ·课题背景及研究意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-18页 |
| ·课题的主要工作 | 第18-20页 |
| 第二章 静电场微力测量的原理及方案设计 | 第20-31页 |
| ·利用静电场复现微小力的原理 | 第20-21页 |
| ·电容传感器的结构与尺寸设计 | 第21-28页 |
| ·电容传感器的结构形式 | 第22-25页 |
| ·电容传感器的形状 | 第25-27页 |
| ·电容传感器的尺寸 | 第27-28页 |
| ·垂直式微小力测量的方案设计 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 弹性支撑机构的设计与分析 | 第31-43页 |
| ·弹性支撑机构的选择 | 第32-36页 |
| ·柔性铰链的有限元分析 | 第36-42页 |
| ·有限元法介绍 | 第36-37页 |
| ·单个柔性铰链结构的仿真 | 第37-38页 |
| ·平行四边形柔性铰链的刚度仿真 | 第38-40页 |
| ·柔性铰链的频谱分析 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 电容器的偏轴影响分析及补偿方法 | 第43-53页 |
| ·圆柱形电容器的电容梯度 | 第43-44页 |
| ·偏轴距对电容梯度的影响 | 第44-45页 |
| ·电极倾斜对电容梯度的影响 | 第45-47页 |
| ·电容器的偏轴检测及调整 | 第47-52页 |
| ·偏轴检测方案 | 第48-50页 |
| ·图像的提取与计算 | 第50-51页 |
| ·图像坐标系的标定 | 第51-52页 |
| ·同轴度调整装置 | 第52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 微力测量系统的组成 | 第53-69页 |
| ·静电力发生模块 | 第55页 |
| ·位移测量模块 | 第55-56页 |
| ·电极固定与偏轴调整机构 | 第56-59页 |
| ·偏轴检测装置 | 第59页 |
| ·电源驱动及控制模块 | 第59-60页 |
| ·电容测量模块 | 第60-62页 |
| ·环境控制 | 第62-65页 |
| ·软件开发 | 第65-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第六章 系统实验与误差分析 | 第69-81页 |
| ·柔性铰链测量实验 | 第69-71页 |
| ·柔性铰链刚度实验 | 第69-70页 |
| ·柔性铰链谐振频率实验 | 第70-71页 |
| ·电容梯度测量实验 | 第71-73页 |
| ·电容器偏轴影响分析实验 | 第73-76页 |
| ·偏轴距影响实验 | 第73-75页 |
| ·电极倾斜影响实验 | 第75-76页 |
| ·静电力发生实验 | 第76-78页 |
| ·静电力测量与标定 | 第78-79页 |
| ·实验总结 | 第79-81页 |
| 第七章 总结与展望 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-86页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87页 |
