可视化非接触式探头的研制
| 致谢 | 第1-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-22页 |
| ·研究起源与目的 | 第14-15页 |
| ·国内外现状 | 第15-20页 |
| ·研究方法与内容概要 | 第20-22页 |
| 第二章 可视化非接触式探头结构及设计原则 | 第22-37页 |
| ·蓝光光学读取头工作原理及组件介绍 | 第22-27页 |
| ·蓝光光学读取头工作原理 | 第22-23页 |
| ·激光二极管 | 第23-24页 |
| ·四象限光电传感器 | 第24-26页 |
| ·光束整形器 | 第26-27页 |
| ·伺服镜片 | 第27页 |
| ·显微物镜 | 第27-28页 |
| ·场镜选取 | 第28-30页 |
| ·继电器与偏振片 | 第30-31页 |
| ·可视化非接触式探头整体结构和光路系统 | 第31-34页 |
| ·可视化非接触式探头光路系统 | 第31-32页 |
| ·可视化非接触式探头整体结构 | 第32-34页 |
| ·可视化非接触式探头电路系统 | 第34-35页 |
| ·蓝光 DVD 读取头的启动电路 | 第35页 |
| ·信号处理电路 | 第35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第三章 可视化非接触式探头测量原理 | 第37-53页 |
| ·高度(阶高)测量原理 | 第37-43页 |
| ·聚焦误差曲线公式推导 | 第37-43页 |
| ·可视化非接触式探头高度测量原理 | 第43页 |
| ·宽度(线宽)测量原理 | 第43-52页 |
| ·线宽测量原理一(阶高在测量范围内) | 第44-48页 |
| ·线宽测量原理二(阶高大于测量范围) | 第48-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 非接触式探头实际应用及误差分析 | 第53-70页 |
| ·纳米三维平台介绍 | 第53-57页 |
| ·二维共平面平台 | 第53-56页 |
| ·宝塔形桥架及 Z 轴构架 | 第56-57页 |
| ·可视化非接触式探头测量实际应用 | 第57-68页 |
| ·高度测量应用‐‐测量 4 μm 阶高 | 第58-61页 |
| ·宽度(线宽)测量应用‐‐测量标准阶高片线宽 | 第61-65页 |
| ·宽度(线宽)测量应用‐‐测量方孔 | 第65-67页 |
| ·宽度(线宽)测量应用‐‐测量 50 μm 圆孔 | 第67-68页 |
| ·可视化非接触式探头误差分析 | 第68-69页 |
| ·硬件噪声 | 第68-69页 |
| ·环境误差 | 第69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 结论与展望 | 第70-71页 |
| ·研究总结 | 第70页 |
| ·工作展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及论文情况 | 第74-75页 |
