| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·VOA 阵列在密集波分复用系统中的应用 | 第8-9页 |
| ·国内外 VOA 阵列的发展现状及趋势 | 第9-14页 |
| ·本论文的研究工作以及创新点和实用性 | 第14-16页 |
| 第2章 SOI 技术 EVOA 阵列的仿真和优化 | 第16-36页 |
| ·SOI 光波导的仿真与优化 | 第16-30页 |
| ·基于 SOI 脊波导的大截面单模条件 | 第16-24页 |
| ·基于 SOI 脊波导的偏振特性分析 | 第24-26页 |
| ·SOI 脊波导模式匹配器的设计优化 | 第26-30页 |
| ·SOI 技术 EVOA 阵列 PIN 结的建模与仿真 | 第30-36页 |
| ·Si 的电光调制原理 | 第30页 |
| ·PIN 结载流子注入的仿真分析 | 第30-36页 |
| 第3章 SOI 技术 EVOA 阵列芯片制作工艺的介绍 | 第36-45页 |
| ·SOI 材料制作工艺的介绍 | 第36-38页 |
| ·平面光波导制作工艺的介绍 | 第38-41页 |
| ·等离子体增强 CVD | 第38-39页 |
| ·光刻工艺 | 第39-40页 |
| ·刻蚀工艺 | 第40-41页 |
| ·离子注入 | 第41页 |
| ·SOI 技术 EVOA 阵列芯片制作工艺流程 | 第41-45页 |
| 第4章 SOI 技术 EVOA 阵列封装工艺的研究 | 第45-66页 |
| ·SOI 技术 EVOA 阵列镀膜工艺的研究 | 第45-55页 |
| ·SOI 波导增透膜设计理论 | 第45-49页 |
| ·SOI 波导增透膜的制备 | 第49-51页 |
| ·SOI 波导增透膜的测试 | 第51-55页 |
| ·SOI 技术 EVOA 阵列耦合对准工艺的研究 | 第55-63页 |
| ·单模光纤与 SOI 技术 EVOA 阵列耦合效率分析 | 第55-59页 |
| ·SOI 技术 EVOA 阵列耦合封装平台设计 | 第59-61页 |
| ·单模光纤阵列与 SOI 基 EVOA 阵列耦合对准实验 | 第61-63页 |
| ·SOI 技术 EVOA 阵列模块的封装 | 第63-66页 |
| 第5章 SOI 技术 EVOA 阵列模块测试 | 第66-75页 |
| ·SOI 技术 EVOA 阵列模块电学性能测试 | 第66页 |
| ·SOI 技术 EVOA 阵列模块光学性能测试 | 第66-69页 |
| ·SOI 技术 EVOA 阵列模块可靠性测试 | 第69-75页 |
| 第6章 总结 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 附录 1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第80-81页 |
| 附录 2 主要英文缩写语对照表 | 第81页 |
