非球面硅透镜加工工艺及误差补偿技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·课题研究背景 | 第9-13页 |
| ·非球面的应用 | 第9-10页 |
| ·非球面超精密制造国外研究概况 | 第10-13页 |
| ·非球面超精密制造国内研究概况 | 第13页 |
| ·传统非球面硅透镜加工技术研究 | 第13-17页 |
| ·非球面硅透镜加工概况 | 第13-14页 |
| ·铣磨 | 第14-15页 |
| ·抛光 | 第15-17页 |
| ·课题研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 非球面透镜概述 | 第19-29页 |
| ·非球面透镜定义 | 第19-21页 |
| ·非球面与球面透镜的区别 | 第19页 |
| ·非球面数学表达式 | 第19-21页 |
| ·非球面的度 | 第21-25页 |
| ·非球面度的定义 | 第21-22页 |
| ·非球面度计算方法分析 | 第22-25页 |
| ·非球面透镜加工工艺过程 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 第三章 铣磨、抛光加工工艺技术研究 | 第29-49页 |
| ·铣磨非球面工艺研究 | 第29-39页 |
| ·砂轮磨削方式的选择 | 第29-30页 |
| ·铣磨非球面试验研究平台 | 第30-31页 |
| ·影响铣磨非球面表面粗糙度的因素研究 | 第31-36页 |
| ·铣磨非球面面形误差分析及补偿 | 第36-39页 |
| ·数控抛光工艺技术研究 | 第39-47页 |
| ·抛光去除函数建模 | 第39-43页 |
| ·非球面抛光工艺试验研究平台 | 第43页 |
| ·抛光工艺参数对表面粗糙度的影响 | 第43-47页 |
| ·抛光表面波纹度产生原因分析 | 第47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章 非球面面形检测与补偿技术 | 第49-59页 |
| ·非球面接触式检测 | 第49-55页 |
| ·非球面接触式检测原理及其数学模型 | 第49-51页 |
| ·非球面接触式检测误差分析 | 第51-55页 |
| ·非球面非接触式检测 | 第55-58页 |
| ·干涉仪零位补偿法检测原理 | 第55-57页 |
| ·干涉仪零位补偿法检测误差分析 | 第57页 |
| ·干涉仪零位补偿法检测非球面面形的不足 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 工艺试验及结果分析 | 第59-73页 |
| ·工艺试验研究内容 | 第59页 |
| ·精磨非球面工艺试验及参数优化 | 第59-65页 |
| ·试验设备和试件 | 第59-60页 |
| ·试验方案 | 第60-61页 |
| ·结果分析 | 第61-65页 |
| ·抛光非球面试验及面形补偿分析方法研究 | 第65-70页 |
| ·试验设备及工件工艺要求 | 第65页 |
| ·试验内容 | 第65-69页 |
| ·试验结果分析 | 第69-70页 |
| ·铣磨、抛光综合优化试验 | 第70-72页 |
| ·试验目的 | 第70页 |
| ·试验内容 | 第70-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第六章 总结与展望 | 第73-75页 |
| ·总结 | 第73-74页 |
| ·展望 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 附录A 攻读硕士期间发表学术论文 | 第81-82页 |
| 附录B 缩略词 | 第82页 |
