微F-P腔可调谐滤波器的研究与制备
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·MEMS 技术简介 | 第8-9页 |
| ·微F-P 可调谐滤波器的研究意义 | 第9-12页 |
| ·课题的国内外研究现状 | 第12-16页 |
| ·本文的研究内容 | 第16-18页 |
| 2 微F-P 腔可调谐滤波器的理论分析 | 第18-32页 |
| ·F-P 腔滤波原理 | 第18-21页 |
| ·F-P 腔的光学设计 | 第21-23页 |
| ·滤波性能分析 | 第23-27页 |
| ·F-P 腔的短腔特性研究 | 第27-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 微F-P 腔滤波单元结构的有限元分析 | 第32-44页 |
| ·有限元分析法 | 第32-33页 |
| ·COMSOL Multiphysics 软件 | 第33-34页 |
| ·微桥结构的选择 | 第34-37页 |
| ·仿真过程论述 | 第37-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 4 微F-P 腔滤波器的工艺制备 | 第44-56页 |
| ·制备底部DBR 反射层和背面增透膜 | 第46页 |
| ·制作底部电极和金属桥腿 | 第46-48页 |
| ·制作牺牲层 | 第48-51页 |
| ·制作顶部金属微桥 | 第51-53页 |
| ·制作顶部DBR 反射层并释放牺牲层 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 5 测试结果与进一步实验方案 | 第56-68页 |
| ·测试结果 | 第56-61页 |
| ·进一步实验方案 | 第61-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 6 全文总结与课题展望 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第75页 |
