| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-17页 |
| ·研究背景和意义 | 第12-14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14页 |
| ·论文研究的目标及主要内容 | 第14-15页 |
| ·论文的组织结构及其章节编排 | 第15-17页 |
| 第二章 RIE设备控制系统相关技术综述 | 第17-29页 |
| ·WPF技术 | 第18-23页 |
| ·WPF组成架构 | 第18-19页 |
| ·基于WPF的UI可视化定制 | 第19页 |
| ·XAML | 第19-21页 |
| ·WPF的数据绑定 | 第21-22页 |
| ·WPF中的动画 | 第22-23页 |
| ·WCF技术 | 第23-25页 |
| ·WCF概述 | 第23-24页 |
| ·WCF服务的调用流程 | 第24-25页 |
| ·基于MVVM模式的Caliburn.Micro框架 | 第25-28页 |
| ·MVVM模式 | 第25-27页 |
| ·Caliburn.Micro框架 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 RIE设备控制系统的架构及设计 | 第29-51页 |
| ·RIE设备控制过程及系统需求分析 | 第29-33页 |
| ·RIE设备概述 | 第29-30页 |
| ·RIE设备控制过程 | 第30-32页 |
| ·RIE设备控制系统需求分析 | 第32-33页 |
| ·RIE设备控制系统的架构 | 第33-38页 |
| ·架构目标 | 第33-34页 |
| ·逻辑架构视图 | 第34-38页 |
| ·服务层的设计 | 第38-44页 |
| ·设备实时状态数据管理服务 | 第39-42页 |
| ·非实时设备信息管理服务 | 第42-43页 |
| ·设备操作命令服务 | 第43-44页 |
| ·表示层的设计 | 第44-50页 |
| ·基于MVVM模式的文件组织结构 | 第44-45页 |
| ·表示层中设备实时状态数据的管理 | 第45-47页 |
| ·设备观测和控制功能的详细设计 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 基于WPF的晶圆处理过程的动画设计和实现 | 第51-64页 |
| ·原有RIE控制系统对晶圆处理过程的展现 | 第51-53页 |
| ·晶圆处理过程的动画设计 | 第53-58页 |
| ·基于数据驱动的动画设计 | 第53-54页 |
| ·闸门动画的设计 | 第54-55页 |
| ·机械臂动画的设计 | 第55-58页 |
| ·晶圆处理过程的动画实现 | 第58-62页 |
| ·闸门动画的实现 | 第58-60页 |
| ·机械臂动画的实现 | 第60-62页 |
| ·动画应用效果 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 RIE设备控制系统的实现与验证 | 第64-88页 |
| ·RIE设备控制系统的实现 | 第64-77页 |
| ·实现环境 | 第64-65页 |
| ·服务层的实现 | 第65-69页 |
| ·表示层的实现 | 第69-77页 |
| ·RIE设备控制系统的测试 | 第77-83页 |
| ·测试环境 | 第77页 |
| ·功能测试 | 第77-80页 |
| ·性能测试 | 第80-83页 |
| ·RIE设备控制系统的应用 | 第83-87页 |
| ·应用概述 | 第83页 |
| ·运行实例 | 第83-87页 |
| ·本章小结 | 第87-88页 |
| 第六章 总结与展望 | 第88-90页 |
| ·本文工作总结 | 第88-89页 |
| ·下一步的工作 | 第89-90页 |
| 参考文献 | 第90-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 作者攻读学位期间发表的论文 | 第93-94页 |
| 附件 | 第94-96页 |