视觉假体柔性微电极阵列的体外电化学稳定性评估与硅基碳MEMS微电极研制
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-32页 |
| ·视觉假体 | 第13-17页 |
| ·视皮层假体 | 第14-15页 |
| ·视神经假体 | 第15-16页 |
| ·视网膜假体 | 第16-17页 |
| ·体外电化学性能评估 | 第17-24页 |
| ·电化学阻抗 | 第18-20页 |
| ·电荷储存能力 | 第20-21页 |
| ·电荷注入能力 | 第21-23页 |
| ·电化学稳定性评估 | 第23-24页 |
| ·C-MEMS 技术 | 第24-30页 |
| ·碳材料 | 第25-29页 |
| ·C-MEMS 加工技术 | 第29-30页 |
| ·本文的课题来源和主要研究内容 | 第30-32页 |
| ·课题来源 | 第30页 |
| ·主要研究内容 | 第30-32页 |
| 第二章 微电极体外电化学稳定性评估 | 第32-49页 |
| ·视网膜柔性 MEMS 微电极 | 第33-34页 |
| ·结构设计 | 第33-34页 |
| ·材料与加工 | 第34页 |
| ·电化学阻抗温度特性 | 第34-41页 |
| ·测试原理 | 第34-35页 |
| ·实验方法 | 第35-37页 |
| ·电化学阻抗温度特性 | 第37-41页 |
| ·电刺激引起 pH 值的变化 | 第41-47页 |
| ·实验方法 | 第42-44页 |
| ·高频电流单相刺激 | 第44-45页 |
| ·双相刺激下 pH 值的变化 | 第45-46页 |
| ·双极电刺激下频率对 pH 值的影响 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第三章 硅基碳 MEMS 微电极的设计与制作 | 第49-65页 |
| ·材料选取 | 第49-52页 |
| ·基底材料 | 第49-52页 |
| ·电极材料 | 第52页 |
| ·结构设计 | 第52-54页 |
| ·工艺探索 | 第54-58页 |
| ·碳膜制备工艺 | 第54-57页 |
| ·电极释放方法 | 第57-58页 |
| ·硅基碳微电极阵列加工工艺 | 第58-62页 |
| ·实验器材 | 第58页 |
| ·微电极阵列制作工艺流程 | 第58-62页 |
| ·结果讨论 | 第62-64页 |
| ·微电极表面形貌 | 第62-63页 |
| ·微电极电阻抗测试 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第四章 总结与展望 | 第65-67页 |
| ·全文总结 | 第65-66页 |
| ·研究展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第75页 |
