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LCD企业BEOL段制造执行系统设计

中文摘要第1-6页
Abstract第6-11页
第1章 绪论第11-19页
   ·研究背景第11-12页
   ·研究意义第12-13页
   ·研究现状第13-18页
     ·MES第13-14页
     ·中间件第14-16页
     ·专家系统第16-18页
   ·论文组织结构第18-19页
第2章 MES、中间件和专家库系统第19-29页
   ·MES第19-20页
     ·MES定义第19页
     ·MES功能第19-20页
   ·中间件技术第20-25页
     ·中间件要解决的问题以及功能第21-22页
     ·中间件主要分类第22-23页
     ·中间件关键技术第23-25页
   ·专家系统第25-28页
     ·专家系统的组成第25-27页
     ·专家系统的推理技术第27-28页
   ·本章小结第28-29页
第3章 LCD企业BEOL段制造执行系统设计第29-50页
   ·引言第29-30页
   ·BEOL段智能MES需求分析第30-35页
     ·TFT-LCD生产简介第30-32页
     ·LCD企业BEOL段生产管理特点第32-33页
     ·LCD MES功能模型第33-34页
     ·BEOL MES需求第34-35页
   ·系统架构设计第35-43页
     ·智能MES基础架构设计第35-36页
     ·智能MES技术架构设计第36-38页
     ·智能MES功能设计第38-40页
     ·智能MES框架设计第40-43页
   ·品质管理模块之缺陷管理的具体设计第43-49页
     ·知识库的构建第44-46页
     ·推理规则建立第46-49页
   ·本章小结第49-50页
第4章 LCD企业BEOL段制造执行系统系统实现第50-67页
   ·基础结构实现第50-53页
     ·硬件以及软件准备第50页
     ·MES的数据库方案第50-51页
     ·MES的队列服务器方案第51-52页
     ·MES服务器方案第52页
     ·MES程序发布第52-53页
   ·技术架构实现第53-61页
     ·数据库连接技术第53-55页
     ·中间件集成第55-61页
   ·系统实现第61-65页
     ·人员管理第62页
     ·物料管理第62-63页
     ·设备管理第63页
     ·现场管理第63-64页
     ·品质管理之缺陷配置管理第64-65页
   ·品质管理模块之缺陷管理具体实现第65-66页
   ·系统发布第66-67页
第5章 全文总结与展望第67-69页
   ·全文总结第67-68页
   ·展望第68-69页
参考文献第69-72页
攻读学位期间公开发表的论文第72-73页
致谢第73页

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