LCD企业BEOL段制造执行系统设计
中文摘要 | 第1-6页 |
Abstract | 第6-11页 |
第1章 绪论 | 第11-19页 |
·研究背景 | 第11-12页 |
·研究意义 | 第12-13页 |
·研究现状 | 第13-18页 |
·MES | 第13-14页 |
·中间件 | 第14-16页 |
·专家系统 | 第16-18页 |
·论文组织结构 | 第18-19页 |
第2章 MES、中间件和专家库系统 | 第19-29页 |
·MES | 第19-20页 |
·MES定义 | 第19页 |
·MES功能 | 第19-20页 |
·中间件技术 | 第20-25页 |
·中间件要解决的问题以及功能 | 第21-22页 |
·中间件主要分类 | 第22-23页 |
·中间件关键技术 | 第23-25页 |
·专家系统 | 第25-28页 |
·专家系统的组成 | 第25-27页 |
·专家系统的推理技术 | 第27-28页 |
·本章小结 | 第28-29页 |
第3章 LCD企业BEOL段制造执行系统设计 | 第29-50页 |
·引言 | 第29-30页 |
·BEOL段智能MES需求分析 | 第30-35页 |
·TFT-LCD生产简介 | 第30-32页 |
·LCD企业BEOL段生产管理特点 | 第32-33页 |
·LCD MES功能模型 | 第33-34页 |
·BEOL MES需求 | 第34-35页 |
·系统架构设计 | 第35-43页 |
·智能MES基础架构设计 | 第35-36页 |
·智能MES技术架构设计 | 第36-38页 |
·智能MES功能设计 | 第38-40页 |
·智能MES框架设计 | 第40-43页 |
·品质管理模块之缺陷管理的具体设计 | 第43-49页 |
·知识库的构建 | 第44-46页 |
·推理规则建立 | 第46-49页 |
·本章小结 | 第49-50页 |
第4章 LCD企业BEOL段制造执行系统系统实现 | 第50-67页 |
·基础结构实现 | 第50-53页 |
·硬件以及软件准备 | 第50页 |
·MES的数据库方案 | 第50-51页 |
·MES的队列服务器方案 | 第51-52页 |
·MES服务器方案 | 第52页 |
·MES程序发布 | 第52-53页 |
·技术架构实现 | 第53-61页 |
·数据库连接技术 | 第53-55页 |
·中间件集成 | 第55-61页 |
·系统实现 | 第61-65页 |
·人员管理 | 第62页 |
·物料管理 | 第62-63页 |
·设备管理 | 第63页 |
·现场管理 | 第63-64页 |
·品质管理之缺陷配置管理 | 第64-65页 |
·品质管理模块之缺陷管理具体实现 | 第65-66页 |
·系统发布 | 第66-67页 |
第5章 全文总结与展望 | 第67-69页 |
·全文总结 | 第67-68页 |
·展望 | 第68-69页 |
参考文献 | 第69-72页 |
攻读学位期间公开发表的论文 | 第72-73页 |
致谢 | 第73页 |