| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·等离子体简介 | 第9页 |
| ·气体放电等离子体源 | 第9-12页 |
| ·射频放电等离子体源 | 第10-11页 |
| ·微波等离子体源 | 第11页 |
| ·直流辉光放电等离子体源 | 第11-12页 |
| ·等离子体分布均匀性研究现状 | 第12-14页 |
| ·等离子体浸没离子注入技术 | 第14-16页 |
| ·课题的主要内容和意义 | 第16-17页 |
| 第2章 实验材料和方法 | 第17-24页 |
| ·实验材料 | 第17页 |
| ·实验设备 | 第17-18页 |
| ·等离子体密度测量 | 第18-20页 |
| ·等离子体密度测量原理 | 第19页 |
| ·工艺参数 | 第19-20页 |
| ·等离子体浸没离子注入样品制备 | 第20-23页 |
| ·前处理工艺 | 第20-21页 |
| ·等离子体浸没离子注入工艺参数 | 第21-23页 |
| ·表面性能测试 | 第23-24页 |
| ·摩擦学性能测试 | 第23页 |
| ·耐腐蚀性能测试 | 第23-24页 |
| 第3章 单端灯丝放电等离子体密度分布 | 第24-37页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·单端灯丝放电等离子体源伏安特性 | 第24-25页 |
| ·真空室为阳极时离子密度分布 | 第25-30页 |
| ·气压对离子密度的影响 | 第25-27页 |
| ·阳极电流对离子密度的影响 | 第27-28页 |
| ·挡板对离子密度的影响 | 第28-29页 |
| ·离子密度的空间分布 | 第29-30页 |
| ·平板阳极等离子体密度分布 | 第30-32页 |
| ·平板阳极离子密度的轴向分布 | 第30-31页 |
| ·平板阳极离子密度的径向分布 | 第31-32页 |
| ·圆弧状阳极等离子体密度分布 | 第32-35页 |
| ·气压对等离子体密度的影响 | 第32-33页 |
| ·阳极电流对等离子体密度的影响 | 第33页 |
| ·离子密度的轴向分布 | 第33-34页 |
| ·离子密度的径向分布 | 第34-35页 |
| ·离子密度竖直方向分布 | 第35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第4章 灯丝放电等离子体浸没离子注入不锈钢表面性能均匀性分析 | 第37-53页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·离子注入电压和电流波形 | 第37-38页 |
| ·改性层摩擦学性能分析 | 第38-46页 |
| ·平均积分摩擦系数 | 第38-39页 |
| ·气压对摩擦系数均匀性的影响 | 第39-41页 |
| ·阳极电流对摩擦系数均匀性的影响 | 第41-43页 |
| ·注入电压对摩擦系数均匀性的影响 | 第43-45页 |
| ·磨痕宽度变化 | 第45-46页 |
| ·改性层电化学腐蚀性能分析 | 第46-52页 |
| ·气压对腐蚀性能均匀性的影响 | 第48-50页 |
| ·阳极电流对腐蚀性能均匀性的影响 | 第50-51页 |
| ·注入电压对腐蚀性能均匀性的影响 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-60页 |
| 致谢 | 第60页 |