| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| ·课题来源 | 第9页 |
| ·课题背景 | 第9-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-17页 |
| ·课题的目的和意义 | 第17页 |
| ·本文主要研究内容与章节安排 | 第17-18页 |
| 2 基于相位轮掩模标记的波像差检测原理及实现方案 | 第18-28页 |
| ·基于相位轮掩模标记的波像差检测技术基本原理 | 第18-21页 |
| ·基于相位轮掩模标记的波像差检测技术原型系统实现方案 | 第21-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 3 投影物镜成像特性简化建模 | 第28-39页 |
| ·简化模型的形式 | 第28-30页 |
| ·简化模型中采样点拟合多项式的形式 | 第30-31页 |
| ·简化模型中采样点拟合试验设计 | 第31-33页 |
| ·简化模型中采样点的拟合试验 | 第33-34页 |
| ·简化模型中采样点拟合结果显著性分析 | 第34-35页 |
| ·简化模型输出误差分析 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 4 Zernike 系数优化求解 | 第39-48页 |
| ·优化目标函数的建立 | 第39-40页 |
| ·优化求解方法及参数选择 | 第40-44页 |
| ·优化求解方法验证实验 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 5 基于相位轮掩模标记的波像差检测方法的Prolith 仿真验证 | 第48-56页 |
| ·仿真验证方法设计 | 第48-49页 |
| ·仿真验证结果及分析 | 第49-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 6 总结与展望 | 第56-58页 |
| ·全文总结 | 第56页 |
| ·展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |