微结构表面形貌测量的双波长数字全息成像方法研究
摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-8页 |
第1章 绪论 | 第8-14页 |
·双波长数字全息的研究背景 | 第8-9页 |
·双波长数字全息的国内外研究现状 | 第9-11页 |
·本文的研究目的和主要工作 | 第11-14页 |
第2章 双波长数字全息的基本原理 | 第14-24页 |
·数字全息图的记录和再现 | 第14-17页 |
·数字全息图的记录 | 第14-15页 |
·数字全息图的再现 | 第15-17页 |
·数字全息三维成像的基本原理 | 第17-19页 |
·双波长数字全息三维成像的基本原理 | 第19-22页 |
·数字全息相位解包裹概念 | 第19-21页 |
·双波长相位解包裹理论分析 | 第21-22页 |
·本章小结 | 第22-24页 |
第3章 双波长数字全息数值模拟 | 第24-34页 |
·对斜面的数值模拟 | 第24-28页 |
·对阶梯型结构的数值模拟 | 第28-31页 |
·数值模拟结果分析与比较 | 第31-32页 |
·本章小结 | 第32-34页 |
第4章 微结构表面形貌测量的实验研究 | 第34-50页 |
·透射型双波长数字全息实验系统 | 第34-36页 |
·双波长相位解包裹方法实验验证 | 第36-43页 |
·相位型微结构表面形貌测量的实验研究 | 第43-48页 |
·本章小结 | 第48-50页 |
结论 | 第50-52页 |
参考文献 | 第52-56页 |
攻读硕士学位期间发表的论文 | 第56-58页 |
致谢 | 第58页 |