面向亚毫米器件操作的真空吸附式作业工具的研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| ·研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-17页 |
| ·真空吸附式作业工具研究现状 | 第11-15页 |
| ·微力检测技术发展现状 | 第15-17页 |
| ·课题来源 | 第17页 |
| ·主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 微小器件操作粘着力分析与静力学建模 | 第19-32页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·微操作中的尺度效应 | 第19-20页 |
| ·粘附力的组成 | 第20-25页 |
| ·范德华力 | 第20-23页 |
| ·静电力 | 第23-24页 |
| ·表面张力 | 第24-25页 |
| ·微操作与尺度效应 | 第25-29页 |
| ·考虑尺度效应的微操作方法 | 第25页 |
| ·粘附力减小方法 | 第25-29页 |
| ·真空吸附式作业力学模型的建立 | 第29-31页 |
| ·本章小节 | 第31-32页 |
| 第3章 集成操作力检测的末端执行器的设计 | 第32-51页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·末端执行器总体设计方案 | 第32-34页 |
| ·压阻式悬臂梁传感器设计 | 第34-44页 |
| ·工作原理 | 第34-36页 |
| ·悬臂梁结构设计 | 第36-41页 |
| ·力敏电阻版图设计 | 第41-44页 |
| ·传感器的加工与封装 | 第44-47页 |
| ·传感器制备流程 | 第44-46页 |
| ·传感器的封装 | 第46-47页 |
| ·微力传感器信号调理电路的设计 | 第47-50页 |
| ·压阻式传感器的特点 | 第47-48页 |
| ·MAX1452 调理电路 | 第48-50页 |
| ·本章小节 | 第50-51页 |
| 第4章 真空系统的设计 | 第51-59页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·真空系统构成 | 第51-54页 |
| ·压力源 | 第52-53页 |
| ·真空发生装置 | 第53页 |
| ·压力调节及检测单元 | 第53-54页 |
| ·真空控制单元 | 第54-56页 |
| ·真空吸附式作业工具末端气压控制实验 | 第56-58页 |
| ·静态特性实验 | 第56-57页 |
| ·动态特性实验 | 第57-58页 |
| ·本章小节 | 第58-59页 |
| 第5章 集成式真空吸附式作业工具的实验研究 | 第59-69页 |
| ·引言 | 第59页 |
| ·实验系统建立 | 第59-61页 |
| ·硬件结构 | 第59-60页 |
| ·软件结构 | 第60-61页 |
| ·微力传感器的标定实验 | 第61-66页 |
| ·标定方法研究 | 第61-62页 |
| ·标定实验 | 第62-63页 |
| ·线性度分析 | 第63页 |
| ·重复性计算 | 第63-64页 |
| ·精度测试 | 第64-65页 |
| ·分辨率测试 | 第65-66页 |
| ·微小器件的拾取与释放实验 | 第66-68页 |
| ·本章小节 | 第68-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
