正交型天线感应耦合等离子体源的放电特性

摘要	第1-4页
Abstract	第4-6页
第一章 引言	第6-12页
·研究背景	第6-7页
·研究现状	第7-11页
·理论研究	第7-8页
·等离子体源的优化设计	第8-10页
·等离子体诊断	第10页
·等离子体应用	第10-11页
·论文结构	第11-12页
第二章 实验装置	第12-23页
·交叉型天线感应耦合等离子体源	第12-13页
·等离子体诊断工具	第13-23页
·朗缪尔探针	第13-17页
·等离子体发射光谱	第17-19页
·罗氏线圈	第19-21页
·磁探针	第21-23页
第三章 实验分析	第23-33页
·罗氏线圈对等离子体放电特性的表征	第23-24页
·发射光谱对等离子体放电特性的表征	第24-27页
·发射光谱测量发光强度	第25-26页
·发射光谱测量电子温度	第26-27页
·朗缪尔探针对等离子体放电特性的表征	第27-31页
·I-V曲线与电子能量分布函数	第27-29页
·电子温度随气压与功率的变化	第29-30页
·等离子体沿径向的均匀性	第30-31页
·磁探针测量径向等离子体电位	第31-33页
第四章 结论	第33-34页
参考文献	第34-36页
攻读学位期间公开发表的论文	第36-37页
致谢	第37-38页
详细摘要	第38-40页