| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-24页 |
| ·课题的研究目的和意义 | 第9-10页 |
| ·表面测量技术的发展和研究趋势 | 第10-19页 |
| ·垂直扫描白光干涉法 | 第19-22页 |
| ·本文的主要工作及创新 | 第22-23页 |
| ·课题来源 | 第23-24页 |
| 2 垂直扫描白光干涉测量原理 | 第24-46页 |
| ·干涉测量技术 | 第24-28页 |
| ·垂直扫描白光干涉法 | 第28-30页 |
| ·垂直扫描白光零级干涉条纹跟踪法 | 第30-33页 |
| ·垂直扫描白光干涉理论 | 第33-40页 |
| ·光学分析 | 第40-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 3 垂直扫描白光干涉的算法研究 | 第46-72页 |
| ·算法介绍和分析 | 第46-57页 |
| ·线性拟合包络线算法 | 第57-62页 |
| ·单幅干涉图的相关峰值提取 | 第62-64页 |
| ·表面产生两组干涉条纹的提取算法 | 第64-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 4 宽范围垂直扫描白光干涉三维表面轮廓测量系统 | 第72-97页 |
| ·测量系统 | 第72-75页 |
| ·干涉显微镜 | 第75-77页 |
| ·三维测量工作台 | 第77-94页 |
| ·测量软件系统 | 第94-95页 |
| ·本章小结 | 第95-97页 |
| 5 表面形貌数据处理与参数评定 | 第97-111页 |
| ·数据处理 | 第97-102页 |
| ·表面形貌特征提取 | 第102-105页 |
| ·表面形貌评定 | 第105-110页 |
| ·本章小结 | 第110-111页 |
| 6 测量系统的检验与应用实例 | 第111-122页 |
| ·测量的重复性精度 | 第111-115页 |
| ·测量实例 | 第115-121页 |
| ·本章小结 | 第121-122页 |
| 7 总结与展望 | 第122-125页 |
| ·总结 | 第122-123页 |
| ·展望 | 第123-125页 |
| 致谢 | 第125-126页 |
| 参考文献 | 第126-134页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第134-136页 |
| 附录2 双频激光干涉仪标定三维测量工作台试验装置照片 | 第136-137页 |
| 附录3 网上检索EI收录发表文章 | 第137页 |