| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·光通信网络 | 第8-11页 |
| ·光通信网络的产生和发展 | 第8-9页 |
| ·光通信系统中的核心器件 | 第9-11页 |
| ·MEMS技术和MEMS器件 | 第11-15页 |
| ·MEMS技术简介 | 第11页 |
| ·典型射频MEMS器件 | 第11-15页 |
| ·有限元数值分析方法及ansys软件简介 | 第15-16页 |
| ·有限元数值分析方法简介 | 第15页 |
| ·工程分析软件ANSYS介绍 | 第15-16页 |
| ·论文内容安排 | 第16-18页 |
| 第二章 有限元数值分析方法原理 | 第18-24页 |
| ·基本思想 | 第18页 |
| ·瞬态传热问题的有限元分析原理 | 第18-22页 |
| ·微分方程、边界条件和初始条件 | 第18-19页 |
| ·瞬态温度场的有限元离散和泛函变分矩阵表达式 | 第19-22页 |
| ·使用ANSYS有限元分析软件求解问题的步骤 | 第22-24页 |
| 第三章 波导型M-Z热光开关性能分析 | 第24-38页 |
| ·不同结构类型的光开关 | 第24-27页 |
| ·SOI热光开关性能分析 | 第27-32页 |
| ·理论模型 | 第27-28页 |
| ·开关功耗和温度场分布 | 第28-29页 |
| ·开关的响应速度 | 第29-30页 |
| ·包层SiO_2厚度对热光开关性能的影响 | 第30-31页 |
| ·埋层SiO_2厚度对热光开关性能的影响 | 第31-32页 |
| ·采用PMMA的M-Z型热光开关性能分析 | 第32-37页 |
| ·理论模型 | 第32页 |
| ·功耗和温度场分布 | 第32-33页 |
| ·开关响应速度 | 第33-34页 |
| ·SiO_2衬底厚度对开关功耗和速度的影响 | 第34-36页 |
| ·PMMA层厚度对开关功耗和速度的影响 | 第36-37页 |
| ·结论与比较 | 第37-38页 |
| 第四章 LiNbO_3电光调制器性能分析与结构优化 | 第38-51页 |
| ·LiNbO_3电光调制器的结构 | 第38-40页 |
| ·电光调制器的典型结构 | 第38页 |
| ·新型电光调制器结构 | 第38-40页 |
| ·传统结构LiNbO_3电光调制器的性能分析 | 第40-45页 |
| ·基本理论 | 第40-42页 |
| ·计算与讨论 | 第42-45页 |
| ·新型结构LiNbO_3电光调制器的性能分析 | 第45-51页 |
| ·调制器的理论模型 | 第45-46页 |
| ·计算与讨论 | 第46-51页 |
| 第五章 静电驱动MEMS悬臂型开关分析 | 第51-58页 |
| ·静电驱动MEMS开关的基本原理 | 第51页 |
| ·计算和分析 | 第51-58页 |
| ·悬臂型开关模型和尺寸 | 第51-53页 |
| ·耦合场分析流程 | 第53-54页 |
| ·开关驱动电压的计算 | 第54-55页 |
| ·开关的结构尺寸对驱动电压的影响 | 第55-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 第六章 总结与展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |